国立研究開発法人 物質・材料研究機構
微細構造解析プラットフォーム事務局

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走査型プローブ顕微鏡(SPM)

極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡 導電性単結晶表面の原子分解能観察およびトンネル分光測定が可能
測定温度: 0.4 K (連続50時間)、4.5 K (連続6日)、77 k(連続10日)
可変磁場: 0~16 T
超高真空: <10-8 Pa
試料準備用設備: アルゴンイオンスパッタ銃, ヒーター(~1200℃)、 電子ビーム蒸着装置(最大6蒸着源)、低温マニピュレータ、探針先端観察用電界イオン顕微鏡装置
(千現地区 界面制御実験棟 110室)
低温走査型トンネル顕微鏡 導電性単結晶表面の原子分解能観察およびトンネル分光測定が可能
長焦点距離顕微鏡の併用により、~10μmサイズの試料に探針のアプローチが可能
測定温度: 5K, 78 K
超高真空: <10-8 Pa
試料準備用設備: アルゴンイオンスパッタ銃、 ヒーター(~2000℃)、 電子ビーム蒸着装置、探針先端 観察用電界イオン顕微鏡装置
(千現地区 界面制御実験棟 114室)
環境制御型周波数変調方式走査型プローブ顕微鏡 液中、真空中、ガス雰囲気、加熱、光照射などの環境場における 周波数変調(FM)方式の原子分解能走査型プローブ顕微鏡(SPM)。 金属、半導体、絶縁体、有機材料などの表面形状計測・表面電位計測等が可能。表面形状計測等は原子・分子スケールで可能。
(千現地区 精密計測実験棟 215室)