国立研究開発法人 物質・材料研究機構
微細構造解析プラットフォーム事務局

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3Dイメージング(3D imaging)

微細組織三次元マルチスケール解析装置 (SMF-1000) FIB-SEM-Ar-ionのトリプルガンを装備した電子顕微鏡です。高い空間分解能・コントラストでのシリアルセクショニングによる3D再構築像観察を可能にするため、FIBとSEMとを直交に配置した装置です。
EBSD, EDS, STEM(BF, ADF)などの多彩な検出器による同時測定が可能です。
マイクロフォーカスX線CT装置 (SMX-160CTS) 微小焦点(φ0.4μm)のX線源を用いた高分解能X線CT装置。非常に高速なCT処理速度を有しており、材料内部の三次元的な欠陥構造や組織分散状態の評価が可能。 非接触非破壊で測定できるため、一つのサンプルでの段階的な変化を観察するのに有効。最大出力は160 kVであり、軽元素からなる材料に対して、高い透過性がある。