NIMS並木ファウンドリ 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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利用料金

 

NIMS並木ファウンドリ利用料金表

料金は各装置の利用時間(予約時間)に応じた時間課金従量制です。
毎月の利用に応じた積算額を翌月請求させていただきます。
ご不明な点は「利用相談」よりお問い合わせ下さい。

※下記表は平成30年4月1日以降の利用単価(税抜表示)
No. 部屋 装置名 機器利用 技術補助 トレーニングにかかる
料金(時間)の目安
技術代行
1 505 分光エリプソメーター \1,000 \2,500 \2,500(2H) \2,800
2 506 FE-SEM(SU8230) \2,000 \3,500 \1,750(0.5H) \3,800
3 502 表面段差計 \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800
4 505 多連電子ビーム蒸着装置 \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
5 506 抵抗加熱蒸着装置 \1,000 \2,500 \7,500(3H) \2,800
6 504 スパッタ1号機 \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
7 504 スパッタ2号機 \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
8 513 パルスレーザー堆積装置 \2,000 \3,500 \14,000(4H) \3,800
9 503 原子層堆積装置(2) \1,000 - - \2,800
10 502 EB描画装置 \2,000 - - \3,800
11 502 コンタクトアライナー \1,000 \2,500 \7,500(3H) \2,800
12 503 ドライエッチング装置 \1,000 \2,500 \3,750(1.5H) \2,800
13 502 プラズマアッシャー(2) \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800
14 506 ダイシング装置 \1,000 - - \2,800
15 504 室温プローバー \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
16 504 低温プローバー \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
17 506 ワイヤーボンダー(2) \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
18 502 RTA(赤外線急速アニール炉 6インチ) \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
19 506 RTA(赤外線急速アニール炉 20mm) \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
20 506 シリコン酸化炉 \1,000 - - \2,800
21   クリーンルーム(並木) \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800
22 506 AFM(原子間力顕微鏡) \1,000 \2,500 \7,500(3H) \2,800
23 111 透過電子顕微鏡 \4,000 - - \5,800
24 401 XRD (薄膜) \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
25 401 XRD (粉末) \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
26 403 熱分析装置(TG/DTA+DSC) \1,000 \2,500 \7,500(3H) \2,800
27 403 ゼータ電位&粒径測定装置 \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
28 404 顕微ラマン分光計 \1,000 \2,500 \6,250(2.5H) \2,800
29 404 フーリエ変換赤外分光高度計(FT-IR) \1,000 \2,500 \3,750(1.5H) \2,800
30 404 紫外可視近赤外分光計(V-570) \1,000 \2,500 \2,500(1H) \2,800
31 404 紫外可視近赤外分光計(V-7200) \1,000 \2,500 \3,750(1.5H) \2,800
32 404 蛍光分光計 \1,000 \2,500 \2,500(1H) \2,800
33 404 顕微PL測定装置 \1,000 \2,500 \3,750(1.5H) \2,800
34 404 走査プローブ顕微鏡 \1,000 \2,500 \7,500(3H) \2,800
35 404 カラーレーザー顕微鏡 \1,000 \2,500 \3,750(1.5H) \2,800
36 414 FE-SEM (S-4800)+EDX \2,000 \3,500 \8,750(2.5H) \3,800
37 414 FE-SEM (SU8000)+EDX \2,000 \3,500 \1,750(0.5H) \3,800
38 414 ミニSEM+EDX \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800
39 403 冷却遠心機 \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800
40 513 XPS(X線光電子分光装置) \2,000 - - \3,800
41 502 レーザー露光装置 \1,000 \2,500 \5,000(2H) \2,800
42 115 ナノインプリント装置 \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800
43 505 FIB-SEMダブルビーム装置 \3,000 - - \4,800
44 115 エキシマクリーナー \1,000 \2,500 \1,250(0.5H) \2,800

【備考】
1. 上記表は,1時間当たりの利用に係る利用単価であり,これに利用時間(※)を乗じた金額が利用料金(消費税別)となります。
2. 30分未満の利用については30分として算出し,以後30分単位で利用料金を算出します。
3. 「機器利用」は,並木ファウンドリスタッフによって『機器利用ライセンス』を付与されたユーザーが、自身で操作する支援形態です。
4. 「技術補助」は,並木ファウンドリスタッフと一緒に装置操作・実験を行う支援形態です(操作トレーニングも含む)。
5. 「技術代行」は,事前の打合せ等で依頼された内容を並木ファウンドリスタッフが実施する支援形態です。
6. 「機器利用」において、上記表以外のクリーンルーム内設備を利用する場合は、\1,000/時(消費税別)の費用が発生します。
利用時間とは,装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です。仮に,予約時間通りに実際に使用しなかった場合でも利用料金は発生します。ただし,技術補助・技術代行の場合において,装置もしくは支援スタッフの都合にて使用しなかった場合はこの限りではありません。



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