装置
     ナノパターン形成関連装置 
  電子ビーム露光装置   両面位置決め機構付きマスクアライナ
  スピンコーター   プラズマアッシャー
     ナノ加工関連装置 
  ドライエッチング装置   集束イオンビーム加工装置
     ナノ造形・創製関連装置 
  スパッタ成膜装置    電子銃型蒸着装置
  原子層制御成膜装置   
     ナノ計測関連装置 
  触針型段差計   ノマルスキー型微分干渉顕微鏡
  走査型電子顕微鏡   原子間力顕微鏡
  常温・低温プローバ
   + 半導体パラメータアナライザ
  X線角度分解光電子分光装置(XPS)
  分光エリプソメータ
     フロントエンドおよびバックエンドプロセス関連装置 
  ワイヤーボンディング装置   ダイシング装置
  赤外急速アニール炉   クリーンオーブン
  シリコン酸化炉
 クリーンルーム付帯設備 
  超純水製造装置   酸・アルカリドラフト/有機ドラフト
  防爆型薬品保管庫   プロセスガス/除害設備