NIMS並木ファウンドリ 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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組織概要

グループリーダー 生田目俊秀グループリーダー 生田目俊秀 並木ファウンドリは、「国際ナノアーキテクトニクス研究拠点(MANA)」のファシリティーとして2009年4月よりスタートしました。2017年4月からは、技術・開発共用部門ナノテクノロジー融合ステーションの一角として、千現ファウンドリとともに微細加工や各種評価に関する技術支援を 行っています。
NIMSでは、物質・材料に関する研究で世界中から集まった研究者のために、多種多様な物質・材料を取り扱える研究設備と経験豊富な技術者による細やかな技術支援を提供しています。
イエロールームなどの8つのエリアから構成された230m2のクリーンルームでは、有機、無機、金属、半導体、磁性体、超伝導など各種材料を扱うことができます。また、ナノドットやナノワイヤー、ナノシートに対して、ナノギャップ電極パターンを形成するなどの微細加工を含めて、試料の作製から構造観察、さらに元素分析、分光、熱分析、X線回折など各種解析装置による物性評価まで、一貫したプロセスを提供します。
これまでに培った知識や経験、技術を活かして、ナノレベルでの革新的な材料創製に貢献すべく研究支援活動を行っています。




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国立研究開発法人 物質・材料研究機構 NIMS並木ファウンドリ
〒305-0044 茨城県つくば市並木1-1
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