NIMS並木ファウンドリ 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
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施設・装置

 

装置紹介


微細加工関係-リソグラフィ-

 EB描画装置
電子ビーム描画装置
メーカー名 エリオニクス
型番

ELS-7500EX

用途

ナノパターニング

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 コンタクトアライナー
コンタクトアライナー
メーカー名

ズース・マイクロテック

型番

MA-6

用途
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 レーザー露光装置
レーザー露光装置
メーカー名

ナノシステムソリューションズ

型番 DL-1000
用途

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 ナノインプリント装置
ナノインプリント装置
メーカー名 東芝機械
型番 ST50
用途
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 エキシマクリーナー
エキシマクリーナー
メーカー名 マルチプライ
型番 EXC-1201
用途

基板洗浄、表面改質

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微細加工関係-成膜-

 多連電子ビーム蒸着装置
多連電子ビーム蒸着装置
メーカー名 エイコー
型番

用途 金属薄膜成膜
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 抵抗加熱蒸着装置
抵抗加熱蒸着装置
メーカー名

アルバック

型番

VTS-350M/ERH345L

用途
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 スパッタ1号機
スパッタ1号機
メーカー名 芝浦メカトロニクス
型番

CFS-4EP-LL(4G)

用途

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 スパッタ2号機
スパッタ2号機
メーカー名 芝浦メカトロニクス
型番 CFS-4EP-LL
用途
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 パルスレーザー堆積装置
パルスレーザー堆積装置
メーカー名 AOV
型番

用途

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 原子層堆積装置
原子層堆積装置
メーカー名 Picosun
型番

SUNALE R-150 ALD

用途
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微細加工関係-エッチング&加工-

 ドライエッチング装置
ドライエッチング装置
メーカー名 アルバック
型番

CE300I

用途

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 FIB-SEMダブルビーム装置
FIB-SEMダブルビーム装置
メーカー名 SIIナノテクノロジー
型番 Xvision200DB
用途
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 プラズマアッシャー
プラズマアッシャー
メーカー名
型番 PB-600Z
用途
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 ダイシング装置
ダイシング装置
メーカー名 ディスコ
型番 DAD-3220
用途
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微細加工関係-熱処理-

 RTA(6inch)
RTA(6inch)
メーカー名 アルバック
型番 RTP-6
用途
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 RTA(20mm)
RTA(20mm)
メーカー名

アルバック

型番 QHC-P410
用途
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 シリコン酸化炉
シリコン酸化炉
メーカー名 光洋サーモシステム
型番 206A-M100
用途
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微細加工関係-計測&評価-

 表面段差計
表面段差計
メーカー名 ブルカージャパン
型番 DekTak 6M
用途
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 ワイヤボンダー
ワイヤボンダー
メーカー名 ウェストボンド
型番 7476D
用途
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 室温プローバー
室温プローバー
メーカー名

アジレント/ハイソル

型番 B1500A
用途 IV-CV測定
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 低温プローバー
低温プローバー
メーカー名 ケースレー/ナガセテクノエンジニアリング
型番 4200 SCS / Grail-408-32-B
用途 IV-CV測定
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 FE-SEM(SU8230)+EDX
FE-SEM(SU8230)+EDX
メーカー名 日立ハイテク
型番 SU8230
用途
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 分光エリプソメータ
エリプソ
メーカー名 JA Woollam
型番 M2000
用途 膜厚測定
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分析関係-X線-

 XRD(薄膜)
XRD(薄膜)
メーカー名 リガク
型番 SmartLab 3kW-BU
用途 結晶構造解析
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 XRD(粉末)
XRD(粉末)
メーカー名 リガク
型番 RINT-Ultima III
用途 結晶構造解析
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 XPS
XPS
メーカー名 アルバック・ファイ
型番 Quantum-2000
用途
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分析関係-分光-

 顕微ラマン分光計
顕微ラマン分光計
メーカー名 ホリバ・ジョバンイボン
型番 T64000
用途
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 フーリエ変換赤外分光装置
フーリエ変換赤外分光装置
メーカー名 サーモエレクトロン(株)
型番 Nicolet4700DR
用途
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 紫外可視近赤外分光計V-570
紫外可視近赤外分光計V-570
メーカー名 日本分光
型番 V-570
用途
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 紫外可視近赤外分光計V-7200
紫外可視近赤外分光計V-770
メーカー名 日本分光
型番 V-770
用途
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 蛍光分光計
蛍光分光計
メーカー名 日本分光
型番 FP-8500DS
用途
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 顕微PL測定装置
顕微PL想定装置
メーカー名 堀場製作所
型番 LabRamHR-PL NF(UV-NIR)
用途
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分析関係-顕微鏡-

 走査プローブ顕微鏡
走査プローブ顕微鏡
メーカー名 ブルカージャパン
型番 Nanoscope5
用途
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 原子間力顕微鏡(403)
原子間力顕微鏡
メーカー名 SIIナノテクノロジー
型番 L-trace
用途
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 カラーレーザー顕微鏡
カラーレーザー顕微鏡
メーカー名 キーエンス
型番 VK9-9700G
用途
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 FE-SEM(S-4800)+EDX
FE-SEM(S-4800)+EDX
メーカー名 日立ハイテク
型番 S-4800
用途
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 FE-SEM(SU8000)+EDX
FE-SEM(SU8000)+EDX
メーカー名 日立ハイテク
型番 SU8000
用途
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 ミニSEM+EDX
ミニSEM+EDX
メーカー名 日立ハイテク
型番 TM3000
用途
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 透過電子顕微鏡
透過電子顕微鏡
メーカー名 日本電子
型番 JEM2100F
用途
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分析関係-その他-

 熱分析装置
熱分析装置
メーカー名 日立ハイテクサイエンス
型番

TG/DTA6200,X-DSC7000

用途
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 ゼータ電位/粒径測定装置
ゼータ電位/粒径測定装置
メーカー名 大塚電子
型番 ELSZ-2000ZS
用途
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 冷却遠心機
冷却遠心機
メーカー名 日立工機
型番 CF16RXII
用途
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