NIMS微細加工プラットフォーム
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利用について

   

利用料金

NIMS微細加工プラットフォーム利用料金表(PF利用:公開利用)

 

料金は各装置の利用時間(予約時間)に応じた時間課金従量制です。
下表の利用料金は「ナノテクプラット事業(利用報告書をWeb公開する利用)」にのみ適用されます。
毎月の利用に応じた積算額を翌月請求させていただきます。
A use charge is depended on your booking time of each equipment. The following table shows a price per hour of each equipment. A bill depending on your use every month will be delivered to you in next month.

非公開利用(利用報告書をWeb公開しない利用)の料金は,こちらを参照ください。
NIMS内部利用(NIMS所属かつNIMS予算での支出)の料金は,こちらを参照ください。

利用料金、請求方法等についてご不明な点は「利用相談」よりお問い合わせ下さい。

※下記表は2020年4月1日以降の利用単価(PF利用:公開利用)
(税込表示)
No.
装置リスト アカデミア所属利用者 中小企業相当(*1)所属利用者 大企業相当(*2)所属利用者
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行
01
125kV電子ビーム描画装置 \13,200 \16,500 \19,800 \24,200 \30,800 \37,400 \29,700 \37,950 \46,200
02
100kV電子ビーム描画装置 \8,800 \12,100 \15,400 \15,400 \22,000 \28,600 \18,700 \26,950 \35,200
03
高速マスクレス露光装置 \6,600 \9,900 \13,200 \11,000 \17,600 \24,200 \13,200 \21,450 \29,700
04
マスクアライナー \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
05
プラズマアッシャー \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
06
UVオゾンクリーナー \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
07
多元スパッタ装置 (i-miller) \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
08
全自動スパッタ装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
09
6連自動蒸着装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
10
12連電子銃型蒸着装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
11
多機能型原子層堆積装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
12
プラズマCVD装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
13
高圧ジェットリフトオフ装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
14
多目的ドライエッチング装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
15
化合物ドライエッチング装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
16
シリコン深掘エッチング装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
17
酸化膜ドライエッチング装置 \6,600 \9,900 \13,200 \11,000 \17,600 \24,200 \13,200 \21,450 \29,700
18
ICP原子層エッチング装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
19
赤外線ランプ加熱装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
20
ウエハRTA装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
21
走査電子顕微鏡 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
22
原子間力顕微鏡 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
23
3次元測定レーザー顕微鏡 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
24
顕微式自動膜厚測定システム \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
25
自動エリプソメータ \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
26
触針式表面段差計 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
27
イオンスパッタ \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
28
薄膜応力測定装置 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
29
ダイシングソー \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
30
室温プローバーシステム \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
31
液体窒素プローバーシステム \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
32
ワイヤーボンダー \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
33
基板洗浄プロセス支援 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
34
リフトオフプロセス支援 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
35
レジスト剥離プロセス支援 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
36
ウェットエッチング支援 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
37
CAD作成支援 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
38
クリーンルーム施設 \4,400 \7,700 \11,000 \6,600 \13,200 \19,800 \7,700 \15,950 \24,200
*1 資本金1億円以下の民間企業等
*2 資本金1億円超の民間企業等

【備考】
1. 上記表は、1時間当たりの利用に係る利用単価(消費税込)であり、これに利用時間(※)を乗じた金額が利用料金となります。
2. 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します。
3. 「機器利用」は、NIMS微細加工PFスタッフによって『機器利用ライセンス』を付与されたユーザーが自身で操作する支援形態です。
4. 「技術補助」は、NIMS微細加工PFスタッフと一緒に装置操作・実験を行う支援形態です(操作トレーニングも含む)。
5. 「技術代行」は、事前の打合せ等で依頼された内容をNIMS微細加工PFスタッフが実施する支援形態です。
6. 「技術補助・技術代行」の単価は、装置利用料金も含んだ価格です。
7. 「クリーンルーム施設」は、上記表記載の設備を利用しない場合に適用されます。
8. 当該料金設定は、2020年4月1日より適用されます。
利用時間とは、装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です。仮に、予約時間通りに実際に使用しなかった場合でも利用料金は発生いたします。ただし、技術補助・技術代行の場合において、装置もしくは支援スタッフの都合にて使用しなかった場合はこの限りではありません。

利用料金一覧表ダウンロード

 
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【各種問合せ】
NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1−2−1
TEL:029-859-2797
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp