NIMS微細加工プラットフォーム
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利用について
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利用料金
 

料金は各装置の利用時間（予約時間）に応じた時間課金従量制です。
毎月の利用に応じた積算額を翌月請求させていただきます。
A use charge is depended on your booking time of each equipment. The following table shows a price per hour of each equipment. A bill depending on your use every month will be delivered to you in next month.

NIMS内部利用（NIMS所属かつNIMS予算での支出）の料金は，こちらを参照ください。

利用料金、請求方法等についてご不明な点は「利用相談」よりお問い合わせ下さい。
NIMS微細加工共用設備　利用料金表（大企業）*１
※2022年4月1日より適用
（税込表示）
装置リスト 非公開利用 ARIM利用（利用報告型）*2
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行*3
125kV電子ビーム描画装置
 \74,360 \95,810 \117,260 \57,200 \73,700 \90,200
100kV電子ビーム描画装置
 \45,760 \67,210 \88,660 \35,200 \51,700 \68,200
高解像度レーザーリソグラフィ装置
高速マスクレス露光装置
酸化膜ドライエッチング装置
 \31,460 \52,910 \74,360 \24,200 \40,700 \57,200
その他装置
 \17,160 \38,610 \60,060 \13,200 \29,700 \46,200

NIMS微細加工共用設備　利用料金表（中小企業）*１
※2022年4月1日より適用
（税込表示）
装置リスト 非公開利用 ARIM利用（利用報告型）*2
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行*3
125kV電子ビーム描画装置
 \38,610 \49,335 \60,060 \29,700 \37,950 \46,200
100kV電子ビーム描画装置
 \24,310 \35,035 \45,760 \18,700 \26,950 \35,200
高解像度レーザーリソグラフィ装置
高速マスクレス露光装置
酸化膜ドライエッチング装置
 \17,160 \27,885 \38,610 \13,200 \21,450 \29,700
その他装置
 \10,010 \20,735 \31,460 \7,700 \15,950 \24,200



NIMS微細加工共用設備　利用料金表（アカデミア）*１
※2022年4月1日より適用
（税込表示）
装置リスト 非公開利用 ARIM利用（利用報告型）*2
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行*3
125kV電子ビーム描画装置
 \24,310 \30,745 \37,180 \18,700 \23,650 \28,600
100kV電子ビーム描画装置
 \15,730 \22,165 \28,600 \12,100 \17,050 \22,000
高解像度レーザーリソグラフィ装置
高速マスクレス露光装置
酸化膜ドライエッチング装置
 \11,440 \17,875 \24,310 \8,800 \13,750 \18,700
その他装置
 \7,150 \13,585 \20,020 \5,500 \10,450 \15,400



*1　資本金１億円超の民間企業を大企業、１億円以下の民間企業を中小企業とし、大学等・公的研究機関をアカデミアとしています
*2　ARIM利用は適用要件があります。要件をすべて満たす場合のみARIM利用可能です。詳細はご相談ください。
*3　技術代行は原則非公開利用となりますが、ターゲット交換等の一部の技術代行はARIM利用でも適用されます
【備考】
1. 上記表は、１時間当たりの利用に係る利用単価（消費税込）であり、これに利用時間（※）を乗じた金額が利用料金となります。
2. 15分未満の利用については15分として算出し、以後15分単位で利用料金を算出します。
3. 「機器利用」は、NIMS微細加工スタッフによって『機器利用ライセンス』を付与されたユーザーが自身で操作する支援形態です。
4. 「技術補助」は、NIMS微細加工スタッフと一緒に装置操作・実験を行う支援形態です（操作トレーニングも含む）。
5. 「技術代行」は、事前の打合せ等で依頼された内容をNIMS微細加工スタッフが実施する支援形態です。
6. 「技術補助・技術代行」の単価は、装置利用料金も含んだ価格です。
※ 利用時間とは、装置予約時間（＝装置占有時間：装置の立ち上げ／終了作業時間含む）です。仮に、予約時間通りに実際に使用しなかった場合でも利用料金は発生いたします。 ただし、技術補助・技術代行の場合において、装置もしくは支援スタッフの都合にて使用しなかった場合はこの限りではありません。

利用料金一覧表ダウンロード
 
下記の「利用料金一覧表」をクリックしてPDFダウンロード後、印刷を行ってください。
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【各種問合せ】
NIMS微細加工共用施設 事務局
〒305-0047　茨城県つくば市千現１-２-１
Email：NIF-office(at)nims.go.jp