NIMS微細加工プラットフォーム
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各種資料・リンク

各種資料

国立研究開発法人物質・材料研究機構施設及び設備利用約款(PDF形式/213KB)
 
マテリアル先端リサーチインフラ施設及び設備利用約款(PDF形式/257KB)

 
NIMS微細加工プロセスデータベースMiNaPro利用マニュアル(PDF形式/2.5MB)
 
装置利用記録電子システム
E-Log利用マニュアル
(PDF形式/1.0MB)

面会票(MS-Word)
(DOCX形式/27kB)
   

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リンク

文部科学省 http://www.mext.go.jp/
ナノテクノロジープラットフォーム http://nanonet.mext.go.jp/
微細加工プラットフォーム代表機関 http://nsn.kyoto-u.ac.jp/
NIMS微細構造解析プラットフォーム http://www.nims.go.jp/nmcp/
NIMS分子・物質合成プラットフォーム http://www.nims.go.jp/mmsp/
NIMS蓄電池基盤プラットフォーム http://www.nims.go.jp/brp/nims/
NIMS Open Facility (全共用設備) https://www.nims-open-facility.jp/
微細加工PF連携:産業技術総合研究所 https://ssl.open-innovation.jp/npf/
微細加工PF連携:筑波大学 http://www.u-tsukuba-nanotech.jp/

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【各種問合せ】
NIMS微細加工共用施設 事務局
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1

Email:NIF-office(at)nims.go.jp