組織概要　// NIMS微細加工プラットフォーム

組織概要 (Facility Introduction)

NIMS微細加工プラットフォームの概要 (Outline of NIMS Nanofabrication Platform)

　NIMS微細加工プラットフォームは，最先端微細加工プロセッシング装置およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m²のクリーンルームを中心に微細加工を担う共用施設として4年間運用されてきました。ナノネット事業においては，電子材料・素子，光学材料・素子，ナノ・マイクロ構造作製，環境・エネルギー，および医工連携・バイオ工学などの多様な分野への研究支援を実施してきました。NIMS微細加工プラットフォームにおいても，半導体材料，酸化物材料，誘電体材料，磁性材料，金属材料，有機材料，生体材料，および複合材料等，様々な材料のナノからマイクロスケール，更にはミリスケールにわたる3次元的な微細加工や電子・光学素子の作製を支援いたします。自然科学から生命科学にわたる学際的融合研究や産学官連携の共同研究，技術代行，技術補助，技術相談および機器利用を積極的に推進します。

NIMS Nanofabrication Platform is an "Open Facility" for all researchers, engineers, and students. The facility is a clean room of 450m² for micro-/nano-fabrication of various materials. Over 30 equipment is available to perform a fabrication process of lithography, thin-film deposition, dry etching, observation , and so on.

NIMS微細加工プラットフォームの特徴 (Features of NIMS Nanofabrication Platform)

	30台以上の微細加工装置群をアンダーワンルーフに集約 All equipment is set up under one roof.
	多種多様な材料加工に対応可能な微細加工装置を整備 The processing equipment is available for various materials.
	専門の支援スタッフよる充実した技術サポート環境 Professional staff gives support for sucess.
	NIMS分子・物質合成PF，NIMS微細構造解析PF（一部）との横断的融合研究が実施可能な環境 A facility of NIMS Microcharacterization Platform and NIMS Molecules & Material Synthesis Platform is in the same building.

スタッフ一覧 (Facility Staff)

	生田目俊秀，NABATAME Toshihide, Ph.D.

	津谷大樹，TSUYA Daiju, Ph.D.
	渡辺英一郎，WATANABE Eiichiro, Ph.D.
	池田直樹，IKEDA Naoki, Ph.D.

	大里啓孝, OSATO Hirotaka
	吉田美沙, YOSHIDA Misa

NIMS微細加工プラットフォームの沿革 (History of the Facility)

2007年4月	ナノテクノロジー融合センターナノ集積ラインとして文部科学省「ナノテクノロジー・ネットワーク事業」に参画
2007年12月	千現地区材料信頼性実験棟1階にクリーンルーム（450m²）を新設
2008年3月	半導体微細加工装置群（30台以上）を新規整備
2008年4月	ナノネット事業における研究支援開始
2012年3月	ナノネット事業終了
2012年7月	文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム事業」微細加工プラットフォームの実施機関として参画


	【各種問合せ】 NIMS微細加工共用施設事務局〒305-0047　茨城県つくば市千現１-２-１	Email：NIF-office(at)nims.go.jp