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研究支援実績 |
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MiNaPro (微細加工プロセスデータベース） |
| MiNaPro (ミナプロ)は、NIMS微細加工プラットフォームで得られた微細加工プロセスに関する加工条件・プロセスレシピを収集し、ユーザーに公開・共有するための微細加工プロセスデータベースです。ユーザーおよびデータにはそれぞれレベルが設定されており、ユーザーレベルに対応したデータが閲覧できます。MiNaProの利用には、ユーザー登録が必要となります。詳細は、「各種資料・リンク」から「MiNaPro利用マニュアル」をご覧ください。 |
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