NIMS微細加工プラットフォーム
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MiNaPro (微細加工プロセスデータベース)

MiNaPro (ミナプロ)は、NIMS微細加工プラットフォームで得られた微細加工プロセスに関する加工条件・プロセスレシピを収集し、ユーザーに公開・共有するための微細加工プロセスデータベースです。ユーザーおよびデータにはそれぞれレベルが設定されており、ユーザーレベルに対応したデータが閲覧できます。MiNaProの利用には、ユーザー登録が必要となります。詳細は、「各種資料・リンク」から「MiNaPro利用マニュアル」をご覧ください。

レベル ユーザー データ
Lv 1 ユーザー登録のみ 成膜プロセスデータ
Lv 2 施設利用実績保有者(単年度利用) 露光プロセスデータ
Lv 3 施設利用実績保有者(継続利用) エッチングプロセスデータ
Lv 4 MiNaProデータ提供者 複合・特殊プロセスデータ


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【各種問合せ】
NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047  茨城県つくば市千現1−2−1
TEL:029-859-2797
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp