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ナノオーダーの超小型発光素子に道

シリコン微細加工技術と酸化亜鉛を応用してナノオーダーの発光アレイを実現

2003.04.07


独立行政法人物質・材料研究機構

NIMS物質研究所と太陽誘電株式会社は、結晶異方性エッチングと機械化学研磨 (CMP) 技術を駆使したシリコン微細加工によるナノメーターオーダーのピットをアレイ状 (格子状) に形成することで、酸化亜鉛を埋め込んだ高精細酸化亜鉛ナノピット発光アレイを実現することに成功した。

概要

独立行政法人物質・材料研究機構 (理事長 : 岸 輝雄) 物質研究所 (所長 : 渡辺 遵) の羽田 肇 (電子セラミックスグループ・ディレクター) と太陽誘電株式会社 (代表取締役社長 : 川田 貢) WIN グループ先端デバイス部 (部長 兼物質・材料研究機構客員研究員 : 藤本 正之) らのグループは、文部科学省科学技術振興調整費の研究課題「セラミックスインテグレーション※1技術による新機能材料創製に関する研究」 (平成12年度~平成16年度、研究リーダー : 羽田 肇) の一環として、結晶異方性エッチング※2と機械化学研磨 (Chemical Mechanical Polishing (CMP) ) ※3技術を駆使したシリコン微細加工によるナノメーターオーダーのピットをアレイ状 (格子状) に形成することで、酸化亜鉛を埋め込んだ高精細酸化亜鉛ナノピット発光アレイ※4を実現することに成功した。


お問い合わせ先

研究内容に関すること
独立行政法人物質・材料研究機構
物質研究所 電子セラミックスグループ ディレクター
羽田 肇 (はねだ はじめ)
TEL:029-860-4433
太陽誘電株式会社
C.M.グループ コーポレート統括 (広報) 次長
大嶋 一幸
TEL:03-3837-6528
WIN グループ 先端デバイス部 部長
藤本 正之
TEL:027-360-8303
報道担当
独立行政法人物質・材料研究機構 
広報室
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL:029-859-2026
FAX:029-859-2017
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