液体窒素冷却して測定する方法

① chamber #1（測定室）には探針のみSETし、サンプル等はchamber #2（処理室）にストックしておく。

　（理想的には探針もchamber #2に入れておく方がいいが、冷却後の操作性を考慮して）

② chamber #1上部の液体窒素注入口に注入棒を差込、タンクからチューブを介して注入する。

　 chamber #1上部の光学測定系統を保護するためにアルミ箔で覆う。

　　液体窒素はタンクの加圧計が0.05MPa以下の状態で注入する。

③ 注入後は注入棒上部をアルミ箔で覆い、両サイドの口はチューブの先をクリップ止めする。

　 一方のチューブには排気が出来るように割目を入れておく。

④ P.C.上段の温度計をONする。

室温からの冷却には一晩以上掛かるので、この状態で放置

⑤ 温度が120～130K以下になったらchamber #2のサンプルをchamber #1に移動する。

⑥ chamber #1上部のフタ開閉コックを閉める。

⑦ chamber #1上部ジグをLockから2mmFreeにする。

⑧ サンプルを移動した直後に少し温度上昇するので、この間に探針の「Approach/Cont.」をしておくとApproachに要する時間短縮になる。Approachの設定を　Z hight ; 90 → 100%　にして実施する。

⑨ 温度が再び下がって安定したら「Approach/App.」する。
　　 Approachの動きはかなり遅いはず。