液体窒素冷却して測定する方法

�@　chamber #1（測定室）には探針のみSETし、サンプル等はchamber #2（処理室）にストックしておく。（理想的には探針もchamber #2に入れておく方がいいが、冷却後の操作性を考慮して）

�A　chamber #1上部の液体窒素注入口に注入棒を差込、タンクからチューブを介して注入する。
　　chamber #1上部の光学測定系統を保護するためにアルミ箔で覆う。
液体窒素はタンクの加圧計が0.05MPa以下の状態で注入する。

�B　注入後は注入棒上部をアルミ箔で覆い、両サイドの口はチューブの先をクリップ止めする。
一方のチューブには排気が出来るように割目を入れておく。

�C　P.C.上段の温度計をONする。

室温からの冷却には一晩以上掛かるので、この状態で放置

�D　温度が120〜130K以下になったらchamber #2のサンプルをchamber #1に移動する。

�E　chamber #1上部のフタ開閉コックを閉める。

�F　chamber #1上部ジグをLockから2mmFreeにする。

�G　サンプルを移動した直後に少し温度上昇するので、この間に探針の「Approach/Cont.」をしておくとApproachに要する時間短縮になる。
Approachの設定を　Z hight ; 90 → 100%　にして実施する。

�H 温度が再び下がって安定したら「Approach/App.」する。
Approachの動きはかなり遅いはず。