サンプルや探針のSputtering

�@　通電加熱の必要なサンプルはchamber#2（処理室）のサンプルストック台最下部（加熱用配線がしてある）にサンプルホルダーをSETし、サンプルをイオンガン方向に向ける。通電加熱するサンプルは左右水平になるようSET方向を確認すること。
通電加熱不要のサンプルのSETは最下部でなくてもよい。
探針の場合はchamber#2のサンプルストック台上部、銅部分の専用ストック台にSETする。

�A　Gate Valve#1をCLOSEする。

�B　Gate Valve#2をOPENする。

�C　イオンガンにAr gasを注入する。

　　　　・古いAr gasを排気するため、Ar gasの緑コックをCLOSEした状態でイオンガンの銀コックをOPENする。

　　　　・排気後、イオンガン銀コックをCLOSEする。

　　　　・Ar gasの緑コックを一瞬OPENしてイオンガンにgasを注入する。緑コックはすぐCLOSEする。

�D　IP#2（イオンポンプ・PREP CHAMBER）をOFFする。

�E　電流計とchamber#2を右図のようにつなぐ。（探針の場合不要）

�F　chamber#2の真空が 1.0 X 10^-6 Torr 位になるまでイオンガンの銀コックをOPENする。

�G　ION GUN POWER SUPPLY をONして、以下のとおりに設定する。
　　　・ION ENERGY : 1KV
　　　・FILAMENTダイアルでEMISSION : 5mA

�H　電流計をONし、電流値（A DC ボタンを押す）が 300〜400nA になるようイオンガン銀コックを調整する。（探針の場合不要）

�I　For 20 min. 放置（スパッタリング中）。
　　この間、電流値が 300nA 以下になったら FILAMENT ダイアルで調整する。（探針の場合不要）

�J　ION GUN POWER SUPPLY を以下のようにしてからOFFする。
　　　・FILAMENT ダイアルで EMISSION : 0mA
　　　・ION ENERGY : 0KV

�K　電流計をOFFする。

�L　イオンガン銀コックをCLOSEする。

�M　IP#2 をONして HV ON のボタンを押す。