STM測定する時には

�@　chamber#1にサンプル＆探針をSETし上部ジグを2mm Freeにする。

�A　P.C.をONする。

�B　コントローラーを立ち上げる。
　　SPM-POW　→　SPM-CPU　→　SPM-STG　の順にONする。
　　（CPUは立ち上がるのに約10s.必要なので以下の操作は10s.待つ）

�C　P.C.で「Ustmw」を立ち上げる。

�D　Gauge；OFF、Gate Valve#3；CLOSE、Turbo下のコック；CLOSE、TMP；STOP、RP；OFFする。

�E　探針のApproach、Scan。

�F　測定を終了する時、Scan STOP、探針Release、「Ustmw」終了。

�G　コントローラーを　SPM-STG　→　SPM-CPU　→　SPM-POW　の順にOFFする。

�H　RP；ON、TMP；START、Turbo下のコック；OPENする。

�I　TMPの表示が”56KRPM”になったらGate Valve#3；OPEN、Gauge；ONする。