サンプルのHeating (Annealing)

�@　サンプルホルダーをchamber#2（処理室）のサンプルストック台最下部（加熱用配線がしてある）にSETする。この時、サンプルが左右水平になる向きにSETする。

�A　DC POWER SUPPLY と chamber#2 上部とを赤・黒のクリップでつなぐ。（右図参照）

�B　DC POWER SUPPLY をONし、current を 0.80A にする。（真空計#2 の表示が一旦上がるがすぐ下がる）

�C　For 20min.放置。（Heating / Annealing 中）

�D　DC POWER SUPPLY の current を 0A にし、OFF する。

�E　DC POWER SUPPLY と chamber#2 上部をつないでいる赤・黒のクリップをはずす。