ヘキ開した断面をSTM観測する場合の
GaAs(ヒ化ガリウム)サンプルの作製
@ サンプルホルダーにGaAs(5mm x 7mm程度のサイズにCUTしたもの)を垂直にSETする。
この時、ヘキ開し易いようサンプル上部にダイヤモンドペンで軽く線傷を描いておく。
A chamber #2(処理室)中でトランスファーロッドを用いてサンプルをヘキ開する。
B サンプルをchamber #1(測定室)に移し、STM測定する。
探針はサンプルの断面にApproachするよう、注意する。
GaAs(110), W-tip