Baking

�@　RP（ロータリーポンプ）；ON、TMP（ターボ分子ポンプ）；ONの状態にする。

�A　Gate Valve#1,#2,#3、TMP横のコックをすべてOPENする。

�B　Gauge#1,#2；OFF、IP（イオンポンプ）；OFF。

�C　以下のつなぎ等をすべて外す。

Chamber#1
・レンズやライト
・上部のP1〜、液体窒素注入口、光ファイバーなど
・真空計Gauge
・トンネル電流検出部
・下部のIP（手でネジを回して外す）、磁石、TSP

Chamber#2
・イオンガン部分
・真空計Gauge
・下部のIP（手でネジを回して外す）、磁石、TSP

Chamber#3
・水注入ホース2本（真鋳部根元をしっかり固定した状態で外す）
・膜圧計つなぎ（根元のGold部を外す）
・（真空計Gaugeはモニターのため外さない　→　真空計#3はON）

�D　ヒーターが直接触れないように、各Chamber上部のつなぎを外した部分やトランスファーロッドなどのハンドル部、ガラス窓、目盛があるような繊細な個所をアルミ箔で覆う。

�E　ヒーターと共に全体をアルミ箔で覆う。Chamber下部も忘れず覆う。Chamber#1、#2の筒の部分は電熱線がすでにSETされているのでヒーターは必要ない。
（・トランスファーロッドのハンドル部はヒーターをアルミ箔で覆わない。
　・Chmber#3の真空計Gauge部はヒーターもアルミ箔も覆わない）。

�F　ヒーターのプラグを差し込むと同時にSTARTする。この状態で一晩加熱する。

�G　真空計#3は10^-7台になっているか確認。（冷めると大体10²程度圧力下がる）

�H　ヒーターのプラグを抜いて加熱を終了する。

�I　全体がまだ熱いうちにガス抜きのため、Chamber#1＆#2でTSP；30A, 5〜10min.稼動させる。

�J　Chamber#1＆#2の真空計GaugeつないでON、下部の磁石とIPをつなぎIP；ON（HV；ON）する。（全体が熱いうちに出てくるgasを抜きたいため）

�K　全体を覆っているアルミ箔やヒーターを取る。

�L　Chamber#3の水注入ホース2本、膜圧計をつなぐ。

�M　２，３時間おきにChamber#1＆#2についてTSP；46A, 1min.稼動させる。

�N　Chamber#1上部のP5をつないで内部温度計；ONする。

�O　Chamber#1内部が十分冷めたら、上部や電流検出部をアースしながら十分気を付けてつなぐ。