LT-STM

LT-STMの操作方法＜測定室（Ch.3）＞

1.コントローラーの立ち上げ

�@EPO(高効率システム電源）のPOWERをON。


�A１φ　100.0V　50.0Hz　と表示されたら、OUT　PUTをON。


�BSTM-POWスイッチをON。


�CSTM-CPUのメインスイッチをON。


�DSTM-STGのメインスイッチをON。


�Eモニター、オシロスコープのPOWERをON。


�FPCのPOWERをON。WINDOWS上のSPMプログラム（USTMW)のアイコンをダブルクリックして立ち上げる。


�GWINDOWS画面に「Unisoku　STM」プログラムのメインウィンドウが表示される。






2.探針、サンプルのヘッドへのセット（chamber2からchamber3へ）

�@作製した探針はLL室から準備室へ移動し、イオンスパッタ、ビーム加熱を行う。


�A測定室への移動は「Unisoku　STM」プログラムの「Cont.]を選択し「Approach」をクリックする。STMのピエゾが窓から十分見えるようになったら、探針をセットする。探針の装着は探針ホルダーのネジがピエゾのネジ穴に入ったら、ゆっくり右へ回す。探針ホルダーが回転しなくなったら、装着完了。それ以上回すとピエゾを破損する恐れがあるので十分注意する。


�B作製したサンプルはLL室から準備室へ移動し、フラッシュ（アニ-ル）を行う。（低温で測定する場合は準備室で十分冷ましてから測定室へ移動すること）


�C測定室への移動は「Unisoku　STM」プログラムの「Fast」を選択し、「Release」をクリック、探針とサンプルが接触しないくらい十分に探針が下がったらサンプルを装着する。この時サンプルを縦方向にセットすると探針のアプローチミスがおこらない。


�D測定室上部にあるヘッドを固定しているジグを緩める。（ヘッドがバネで吊られている状態になる）



3.探針のアプローチ（chamber3）

�@サンプル面を見ながら、「Unisoku　STM」プログラムの「Cont.」を選択し、「Approach」をクリック、探針をサンプルにおおむね近づける。（この時、探針がサンプルに接触しても探針の動きは止まらないので接触しないように注意）。針の先端がサンプルに接触する前に「Stop」をクリックして探針のアプローチを止める。（針の先端が少しでもサンプルに接触すると、その針はもう使えない）


�ASPM-CNTのPは３〜４、Iは1.5、Rは４程度、SLOPEは２つとも5.0、Z-ADJは０に設定する。


�BZ-PROTECTを10秒間OFFにして再度ONにする。


�C「Unisoku　STM」プログラムの「Cont.」を「App.」に選択し直し、「Approach」をクリック。（この時、トンネル電流を検出したら探針は自動的に止まる）


�D画面中央の「Stoｐ」と表示されている小さなウィンドウが消えれば、アプローチは終了。


�ESTM-CNTのｆeed　ｂａｃｋ　ｍｅｔｅｒを見ながらＺ−ＡＤＪを上げていき、針を０に合わせる。（Ｚ−ＡＤＪを最大まで上げてもメーターが０を指さない時は、もう一度�Dの操作をする）


�Fこれで探針のアプローチは終了し、「Ｓｃａｎ」をクリックすれば、ＳＴＭ測定が始まる。



4.ＳＴＭの測定（chamber3）

�@「Ｕｎｉｓｏｋｕ　ＳＴＭ」プログラムの「Ｓｃａｎ」をクリックする。


�Aスキャン中に「Ｓｔｏｐ」をクリックするとスキャンはその瞬間に止まり、「Ｐａｇｅ　Ｓｔｏｐ」をクリックすると１画面を最後までスキャンしてから測定が止まる。また、スキャンが終わってしまった画面でも「Ｄａｔｅ　Ｌｏａｄ」をクリックすると最新のデータを開くことができる。


�B「Ｐａｇｅ　Ｓｔｏｐ」か「Ｄａｔｅ　Ｌｏａｄ」をクリックするとＳＴＭ−ＣＰＵから測定データがホストコンピュータに自動的にロードされ、データウィンドウが開く。その中の「Ｓａｖｅ」を実行するとファイルセーブダイアログが開くので、日付とデータＮｏ．を入力して保存する。