ナノ創製のためのナノ計測技術 藤田 大介 NIMSナノ計測センターの推進するナノ計測基盤技術ならびに、ナノ創製と融合したSPMナノ計測技術を中心にNIMSの最近の研究成果を紹介する。ナノデバイス開発には観る技術(ナノ計測)が不可欠であり、その創る技術(ナノ創製)との連携技術が重要となる。 その観点からSPMによるナノ計測/ナノ創製/ナノ機能探索の融合化の推進が期待される。 |
[ 内容 ] NIMSナノ計測センターの概要 ナノ・材料のためのプローブ計測技術 探針物質移送によるナノ構造の創製 Si(100)表面における周期構造制御 単原子移送による1次元量子井戸創製 極限場ナノ計測 |
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