ナノ創製のためのナノ計測技術   藤田 大介

NIMSナノ計測センターの推進するナノ計測基盤技術ならびに、ナノ創製と融合したSPMナノ計測技術を中心にNIMSの最近の研究成果を紹介する。ナノデバイス開発には観る技術(ナノ計測)が不可欠であり、その創る技術(ナノ創製)との連携技術が重要となる。
その観点からSPMによるナノ計測/ナノ創製/ナノ機能探索の融合化の推進が期待される。

[ 内容 ]

NIMSナノ計測センターの概要
ナノ・材料のためのプローブ計測技術
探針物質移送によるナノ構造の創製
Si(100)表面における周期構造制御
単原子移送による1次元量子井戸創製
極限場ナノ計測