西村聡之、廣崎尚登
微構造を微細化すると非酸化物セラミックスにも超塑性が発現する。窒化ケイ素の場合、原料粉末にβ型で均一微細粒を用いることで、安定して塑性変形する材料を作製することができる。 より低温で変形させるためには、組織をさらに微細化する必要がある。 マイクロマシン等の微細な部品への適用を考えた場合、部材としての均質性を保つためには、組織を微細化する必要がある。 微細な均一組織の材料は低靱性 ⇒ 塑性変形後の熱処理により、自己複合組織を形成し、高靱化
