ロックインサーモグラフィ1号機 (冷却式カメラ) |
ロックインサーモグラフィ2号機 (冷却式カメラ) |
ロックインサーモグラフィ3号機 (非冷却式カメラ) |
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ロックインサーモリフレクタンス | マイクロプロ―バー(四極電磁石) | 局所電気物性評価用プロ―バー |
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高温輸送物性測定装置 | 低温輸送物性測定装置 | 無冷媒磁気光学測定用超伝導マグネットシステム |
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熱電特性評価装置 | レーザーフラッシュ装置 | 示差走査熱量計(ナノ組織解析グループと共用) |
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磁気熱電特性評価装置 | 高速引張試験機 | 二次元・三次元微細形状測定機 |
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TDTR装置(電磁石装備) | ピコ秒パルスファイバレーザー | 磁気冷凍特性評価装置 |
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電気計測器(ナノボルトメータ―, DMM, SG, VNA, エレクトロメーター, 各種アンプ, 他多数) | ||
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ガウスメーター / 高出力バイポーラ電源 / 簡易スピンゼーベック効果測定キット / 輸送物性測定用小型真空チャンバー / 超小型電磁石 / 汎用高真空排気装置 など |
クラスター型コンビナトリアルスパッタリング装置 | ||
![]() 6元コンビナトリアルスパッタ室 + 4元コスパッタ室(イオンガン、RHEED付)+ LL室 搬送ロボットによる全自動成膜、プラズマ自動復帰機能 |
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コンビナトリアルスパッタリング装置 | スパッタリング・Arイオンミリング複合装置 | ALD装置 |
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ミニスパッタリング装置 | 抵抗加熱蒸着装置 | スパッタコータ― |
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小型電気炉・真空炉 | 赤外線導入型磁場中加熱炉 | クエンチ炉 |
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ハイブリッド焼結装置(グローブボックス・酸素濃度計付) | アーク溶解炉 | グローブボックス |
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遊星ボールミル装置 | 粉末成型機 / 自動乳鉢 | 乾燥炉 |
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高温高圧反応容器 / 小型遠心分離器 / ホットプレート など |
レーザー微細加工装置 | マスクレス露光装置(自作) | スピンコーター |
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汎用レーザー加工機 | 簡易ナノインプリント装置 | |
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自動ダイシングソー | ダイヤモンドワイヤーソー1号機 | ダイヤモンドワイヤーソー2号機 |
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手動ダイシングソー | 鏡面研磨装置 | 自動研磨装置 |
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NCフライス | プリント基板加工装置 | |
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精密リューター / プリント基板切断機 / バンドソー など |
作業スペース1 | 作業スペース2 | 超音波はんだ装置 |
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精密はんだ装置 / 実体顕微鏡 など |
ダクトレスヒュームフード | 窒素ガス発生装置 | スクラバー |
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超音波洗浄機 / 精密電子天秤 など |
〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
国立研究開発法人
物質・材料研究機構
磁性・スピントロニクス材料研究センター
スピンエネルギーグループ
Spin Caloritronics Group
Research Center for Magnetic and Spintronic Materials (CMSM)
National Institute for Materials Science (NIMS)
1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JAPAN
〒277-8561
千葉県柏市柏の葉5丁目1-5
東京大学
大学院新領域創成科学研究科
物質系専攻 内田・中西研究室
(郵便送付先:新領域基盤棟 502)
Uchida & Nakanishi Laboratory
Department of Advanced Materials Science
Graduate School of Frontier Sciences
The University of Tokyo
5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa, Chiba 277-8561, JAPAN
(Postal Address: Transdisciplinary Sciences Building 502)