物性計測

ロックインサーモグラフィ 1号機＆2号機(冷却式カメラ), 3号機(非冷却式カメラ)
　　

ロックインサーモリフレクタンス / マイクロプロ―バー(四極電磁石) / 局所電気物性評価用プロ―バー
　　

高温輸送物性測定装置 / 低温輸送物性測定装置 / 無冷媒磁気光学測定用超伝導マグネットシステム
　　

熱電特性評価装置 / レーザーフラッシュ装置 / 示差走査熱量計(磁性材料解析グループと共用)
　　

磁気熱電特性評価装置 / 高速引張試験機 / 二次元・三次元微細形状測定機
　　

電気計測器(ナノボルトメータ―, DMM, SG, VNA, エレクトロメーター, 各種アンプ, 他多数)
　　

ガウスメーター / 高出力バイポーラ電源 / 簡易スピンゼーベック効果測定キット / 輸送物性測定用小型真空チャンバー / 超小型電磁石 / 汎用高真空排気装置 など

材料合成

クラスター型コンビナトリアルスパッタリング装置

6元コンビナトリアルスパッタ室 ＋ 4元コスパッタ室（イオンガン、RHEED付）＋ LL室
搬送ロボットによる全自動成膜、プラズマ自動復帰機能

コンビナトリアルスパッタリング装置 / スパッタリング・ALD複合装置 / ミニスパッタリング装置
　　

スパッタコータ― / 小型電気炉・真空炉 / 赤外線導入型磁場中加熱炉
　　

クエンチ炉 / アーク溶解炉 / グローブボックス
　　

ハイブリッド焼結装置（グローブボックス・酸素濃度計付）/ 遊星ボールミル装置 / 粉末成型機 / 自動乳鉢
　　

乾燥炉


高温高圧反応容器 / 小型遠心分離器 / ホットプレート など

微細加工

レーザー微細加工装置 / マスクレス露光装置(自作) / スピンコーター
　　

汎用レーザー加工機 / 簡易ナノインプリント装置
　

機械加工

自動ダイシングソー / 手動ダイシングソー / ダイヤモンドワイヤーソー
　　

鏡面研磨装置 / 自動研磨装置 / ダイヤモンドワイヤーソー2号機
　　

NCフライス / プリント基板加工装置
　

精密リューター / プリント基板切断機 / バンドソー など

電気工作

作業スペース1 / 作業スペース2 / 超音波はんだ装置
　　

精密はんだ装置 / 実体顕微鏡 など

その他

ダクトレスヒュームフード / 窒素ガス発生装置 / スクラバー
　　

超音波洗浄機 / 精密電子天秤 など