Facility
装置の新規導入や実験室の整備を随時進めており、充実した実験環境で研究を進めることができます。既製品のみならず、自作・特注の装置も多く利用しています。磁性・スピントロニクス材料研究センター内の豊富な共用設備も活用しています。
物性計測
| ロックインサーモグラフィ1号機 (冷却式カメラ) |
ロックインサーモグラフィ2号機 (冷却式カメラ) |
ロックインサーモグラフィ3号機 (非冷却式カメラ) |
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| ロックインサーモリフレクタンス | マイクロプロ―バー(四極電磁石) | 局所電気物性評価用プロ―バー |
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| 高温輸送物性測定装置 | 低温輸送物性測定装置 | 無冷媒磁気光学測定用超伝導マグネットシステム |
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| 熱電特性評価装置 | レーザーフラッシュ装置 | 示差走査熱量計(ナノ組織解析グループと共用) |
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| 磁気熱電特性評価装置 | 高速引張試験機 | 二次元・三次元微細形状測定機 |
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| TDTR装置（電磁石装備） | ピコ秒パルスファイバレーザー | 磁気冷凍特性評価装置 |
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| 電気計測器(ナノボルトメータ―, DMM, SG, VNA, エレクトロメーター, 各種アンプ, 他多数) | ||
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| ガウスメーター / 高出力バイポーラ電源 / 簡易スピンゼーベック効果測定キット / 輸送物性測定用小型真空チャンバー / 超小型電磁石 / 汎用高真空排気装置 など | ||
材料合成
| クラスター型コンビナトリアルスパッタリング装置 | ||
 6元コンビナトリアルスパッタ室 ＋ 4元コスパッタ室（イオンガン、RHEED付）＋ LL室 搬送ロボットによる全自動成膜、プラズマ自動復帰機能 |
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| コンビナトリアルスパッタリング装置 | スパッタリング・Arイオンミリング複合装置 | ALD装置 |
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| ミニスパッタリング装置 | 抵抗加熱蒸着装置 | スパッタコータ― |
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| 小型電気炉・真空炉 | 赤外線導入型磁場中加熱炉 | クエンチ炉 |
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| ハイブリッド焼結装置（グローブボックス・酸素濃度計付） | アーク溶解炉 | グローブボックス |
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| 遊星ボールミル装置 | 粉末成型機 / 自動乳鉢 | 乾燥炉 |
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| 高温高圧反応容器 / 小型遠心分離器 / ホットプレート など | ||
微細加工
| レーザー微細加工装置 | マスクレス露光装置(自作) | スピンコーター |
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| 汎用レーザー加工機 | 簡易ナノインプリント装置 | |
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機械加工
| 自動ダイシングソー | ダイヤモンドワイヤーソー1号機 | ダイヤモンドワイヤーソー2号機 |
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| 手動ダイシングソー | 鏡面研磨装置 | 自動研磨装置 |
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| NCフライス | プリント基板加工装置 | |
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| 精密リューター / プリント基板切断機 / バンドソー など | ||
電気工作
| 作業スペース1 | 作業スペース2 | 超音波はんだ装置 |
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| 精密はんだ装置 / 実体顕微鏡 など | ||
その他
| ダクトレスヒュームフード | 窒素ガス発生装置 | スクラバー |
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| 超音波洗浄機 / 精密電子天秤 など | ||
Access
〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
国立研究開発法人
物質・材料研究機構
磁性・スピントロニクス材料研究センター
スピンエネルギーグループ
Spin Caloritronics Group
Research Center for Magnetic and Spintronic Materials (CMSM)
National Institute for Materials Science (NIMS)
1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JAPAN
〒277-8561
千葉県柏市柏の葉5丁目1-5
新領域基盤棟
東京大学
大学院新領域創成科学研究科
物質系専攻 内田研究室
Uchida Laboratory
Department of Advanced Materials Science
Graduate School of Frontier Sciences
The University of Tokyo
5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa, Chiba 277-8561, JAPAN
ERATO内田磁性熱動体プロジェクト
NIMS NOW 2018 No.4
「ゆらぐスピンの舵をとれ」
NIMS NOW 2019 No.5
「材料科学者になる !
「NIMS大学院プログラム」のすゝめ」
NIMS NOW 2023 No.6
「磁性・スピントロニクス
材料研究センター
磁力が未来を書き換える」