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Facility


装置の新規導入や実験室の整備を随時進めており、充実した実験環境で研究を進めることができます。既製品のみならず、自作・特注の装置も多く利用しています。

物性計測


ロックインサーモグラフィ 1号機&2号機(冷却式カメラ), 3号機(非冷却式カメラ)
  

ロックインサーモリフレクタンス / マイクロプロ―バー(四極電磁石) / 局所電気物性評価用プロ―バー
  

高温輸送物性測定装置 / 低温輸送物性測定装置 / 無冷媒磁気光学測定用超伝導マグネットシステム
  

熱電特性評価装置 / レーザーフラッシュ装置 / 示差走査熱量計(磁性材料解析グループと共用)
  

磁気熱電特性評価装置 / 高速引張試験機 / 二次元・三次元微細形状測定機
  

電気計測器(ナノボルトメータ―, DMM, SG, VNA, エレクトロメーター, 各種アンプ, 他多数)
  

ガウスメーター / 高出力バイポーラ電源 / 簡易スピンゼーベック効果測定キット / 輸送物性測定用小型真空チャンバー / 超小型電磁石 / 汎用高真空排気装置 など


材料合成


クラスター型コンビナトリアルスパッタリング装置

6元コンビナトリアルスパッタ室 + 4元コスパッタ室(イオンガン、RHEED付)+ LL室
搬送ロボットによる全自動成膜、プラズマ自動復帰機能

コンビナトリアルスパッタリング装置 / スパッタリング・ALD複合装置 / ミニスパッタリング装置
  

スパッタコータ― / 小型電気炉・真空炉 / 赤外線導入型磁場中加熱炉
  

クエンチ炉 / アーク溶解炉 / グローブボックス
  

ハイブリッド焼結装置(グローブボックス・酸素濃度計付)/ 遊星ボールミル装置 / 粉末成型機 / 自動乳鉢
  

乾燥炉


高温高圧反応容器 / 小型遠心分離器 / ホットプレート など


微細加工


レーザー微細加工装置 / マスクレス露光装置(自作) / スピンコーター
  

汎用レーザー加工機 / 簡易ナノインプリント装置
 


機械加工


自動ダイシングソー / 手動ダイシングソー / ダイヤモンドワイヤーソー
  

鏡面研磨装置 / 自動研磨装置 / ダイヤモンドワイヤーソー2号機
  

NCフライス / プリント基板加工装置
 

精密リューター / プリント基板切断機 / バンドソー など


電気工作


作業スペース1 / 作業スペース2 / 超音波はんだ装置
  

精密はんだ装置 / 実体顕微鏡 など


その他


ダクトレスヒュームフード / 窒素ガス発生装置 / スクラバー
  

超音波洗浄機 / 精密電子天秤 など

contents

Access

〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
国立研究開発法人
物質・材料研究機構
磁性・スピントロニクス材料研究拠点
スピンエネルギーグループ

Spin Caloritronics Group
Research Center for Magnetic and Spintronic Materials (CMSM)
National Institute for Materials Science (NIMS)
1-2-1 Sengen, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, JAPAN




NIMS NOW 2018 No.4
「ゆらぐスピンの舵をとれ」



NIMS NOW 2019 No.5
「材料科学者になる !
「NIMS大学院プログラム」のすゝめ」