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世界最高性能のナノ誘電膜を開発

-ナノのオーダーメイドで組成・構造・特性を自由自在-

2011.07.13
(2011.07.20 更新)

長田 実 ( MANA研究者 )
佐々木 高義 ( MANA主任研究者 )

分子レベルの薄さ(厚み:1 nm)の酸化物ナノ結晶(ナノシート)において、化学組成と構造を自由自在に制御する精密ドーピング技術を開発した。さらに、この技術を酸化チタン系ナノシートに応用することで、自在な特性制御を実現し、ナノレベルの厚さで世界最高性能の誘電体膜(誘電率 εr = 320)の開発に成功した。これにより、誘電体素子のさらなる小型化と大容量化が可能となり、次世代の大容量コンデンサ素子やメモリ素子開発への新しい道が開けた。

今回開発した高誘電体ナノシートの構造 (a)と原子間力顕微鏡像 (b).
このナノシートでは、TiサイトへのNb置換により構造と特性を自在に制御できる




記事・報道

■新聞
日刊工業新聞(2011年7月15日19面)


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