３D分野（千現地区）
広空間・高分解能分析電子顕微鏡
(JEM-ARM300F)
金属・セラミクス試料の原子分解能での組織観察およびEELS、EDSによる局所分析。3次元、動的観察。方位マップも取得可能。
微細組織3次元マルチスケール解析装置
(SMF-1000)
FIB-SEM-Ar-ionのトリプルガンを装備した電子顕微鏡です。高い空間分解能・コントラストでのシリアルセクショニングによる3D再構築像観察を可能にするため、FIBとSEMとを直交に配置した装置です。EBSD、EDS、STEM(BF、ADF)などの多彩な検出器による同時測定が可能です。