16:00-17:00
透過電子顕微鏡法による結晶中に埋められたナノ粒子の解析
長谷川明(先端電子顕微鏡グループ主幹研究員)
-
透過型電子顕微鏡法は微小領域の分析、原子レベルの構造解析に有力な方法であるが、材料中に埋められている構造、特にナノ及びサブナノ構造の解析には場合によって、特殊の観察手法が必要である。本研究では、特殊なoff-Bragg観察方法を用いて、Al結晶中に埋められたナノ粒子及びナノクラスターのHREM観察を行った。ナノ粒子内結晶欠陥の導入、移動、ナノ粒子同士の合体、などの観察例を紹介する。また、３６０度回転できるトモグラフィー試料ホルダーを利用したナノ粒子の観察で、ナノ粒子の分布、成長について知見を得ることができた。