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走査透過電子顕微鏡と電子エネルギー損失分光による材料評価
木本 浩司（ナノ計測センター先端電子顕微鏡グループ主席研究員）
- 走査透過型電子顕微鏡法（STEM）は、環状暗視野（Annular Dark Field: ADF）像の観察や、電子エネルギー
損失分光法（EELS）との組み合わせの点などから、近年材料評価手法として注目されつつある。しかしADF
像もエネルギー損失スペクトルも、通常のTEMが用いる弾性散乱電子と比較して強度が弱く、広く一般に用い
られるにはいたっていない。
我々はSTEMにおいて高い元素識別能を得るためには、高輝度電子銃および装置の安定度向上によるドーズ
の増大と分析位置精度の向上が重要と考え、装置の改造と制御ソフトウエアの開発などを行ってきた。ADF像
とEELSとを組み合わせることにより、現時点では、結晶の原子コラム毎に元素分析をすることが可能であ
る。
本発表ではSTEMやEELSの概要を述べた後、各種材料（ペロフスカイト構造を基本とするマンガン酸化物、
窒化シリコン、半導体素子用絶縁膜等）への適用例を紹介する。
