Ti-Ni薄膜の二方向形状記憶効果

Siウエハ上に作製した形状記憶合金薄膜アクチュエータ
     (京都大学田畑研究室との共同研究)

ポリイミド/形状記憶合金薄膜アクチュエータ

       歩行ロボット
(京都大学田畑研究室との共同研究)

搬送器(京都大学田畑研究室との共同研究)

コインを持ち上げるポリイイミド/形状記憶合金薄膜アクチュエータ

ポリイイミド/形状記憶合金薄膜アクチュエータで
羽根を動かすトンボのおもちゃ

Siウエハ上に作製した形状記憶合金薄膜アクチュエータ
  (京都大学田畑研究室との共同研究)