平成１８年８月１１日、文部科学省「次世代の電子顕微鏡要素技術の開発」の「スペクトロスコピーの高度化に関する要素技術の開発」部門にて、ナノ計測センター先端電子顕微鏡グループの原徹等の提案課題「マイクロカロリメーター型X線検出システムの開発」（平成１８年度〜２０年度）が採用されました。
本プロジェクトでは、従来の半導体Ｘ線検出器よりも１桁以上エネルギー分解能（10eV）が優れた、「マイクロカロリーメータ型X線検出器 (TES) 」をTEMに搭載した、最先端の分析電子顕微鏡を世界に先駆けて開発します。
本プロジェクトでは、従来の半導体Ｘ線検出器よりも１桁以上エネルギー分解能（10eV）が優れた、「マイクロカロリーメータ型X線検出器 (TES) 」をTEMに搭載した、最先端の分析電子顕微鏡を世界に先駆けて開発します。
このため、マイクロカロリーメータの多ピクセル化による検出器計数率の一桁向上、ＴＥＭ搭載によるレンズ磁場への検出器の影響、GM冷凍機からの振動等の要素技術を開発し、ほぼ全元素の高精度分析が可能な世界最高性能のTEM-EDSシステムの実現を目指します。
文部科学省リーディングプロジェクト：次世代の電子顕微鏡要素技術の開発
「TEM用マイクロカロリーメータ型X線検出システムの開発」
原 徹 （先端電子顕微鏡グループ）
「TEM用マイクロカロリーメータ型X線検出システムの開発」
原 徹 （先端電子顕微鏡グループ）
ピークがオーバーラップすることによって多くの元素が分離不可能。
エネルギー分解能が高いためピークのオーバーラップが大幅に低減。
現状(SSD-EDS)
ΔE=130eV
ΔE=130eV
マイクロカロリメータEDS目標値
ΔE=10eV
ΔE=10eV
