・加速電圧：200kV

・電子銃：冷陰極電界放出型電子銃（ Cold-FEG ）

・分解能：0.14nm（HAADF像）

・試料ホルダー：室温高分解能用
　　　　　　　　低温冷却用（液体窒素、２軸傾斜）

・像観察モード：明視野像（BF）、環状暗視野像（ADF）　　　　　　

・EELS検出系：Gatan　GIF-Tridiem

・導入年度：平成１5年