第6回講習会

主催  (公社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会


日時

2016年8月25日(木)

場所

国立研究開発法人物質・材料研究機構 千現地区
(〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000)http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html

最寄り駅 つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
http://www.mir.co.jp/

ご案内


X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会 では、X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習 を少人数のグループにて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、 6名の専門家がお答えします。
 

   

カリキュラム


08:40      開場、受付開始
09:00 -09:40  X線反射率法とは       桜井健次(物材機構)
09:40 -10:20  X線反射率実験の注意事項   表和彦(リガク)
10:20 -10:30  休憩
10:30 -12:00  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習(A,B,Cコース)

       A. 実践コース (6名まで 数年以上の経験のある方向け 担当 表和彦)
(検討したいデータと ご自分のPCを必ずお持ちください。皆様の解析上の疑問点や不明点を個別指導致します 。このコースは、ご自分のデータをご自分で解析されたい方のみ参加できます。)
    B. 体験コース (12名まで 初心者もしくは経験1〜2年の方向け 担当 淡路直樹)
(ご自分のPCをお持ちください。解析体験用の測定データを お配りし、実際の解析を体験して頂きます。もし既にお使いのソフトウエアがあればお持ちください。 そのソフトウエアでの解析を体験できます。もしお持ちでない場合は、こちらで用意したものをお使いください。)
    C. 実演見学コース( 12名まで 初心者もしくは経験1〜2年の方向け 担当 桜井健次)
(講師が皆様の前でソフトウエアを使い、2〜3の事例をもとに、解析の個々の細かな手順や注意事項を丁寧に解説いたします。 使用するデータ等の電子ファイルはCコース受講者全員に配布します。一部の方には、実際の PC上での操作も体験していただきます。)

実習コースもA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。

12:00 -13:00  昼食休憩  (12:30-13:00 X線反射率相談デスク、6箇所設置)

13:00 -13:40  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習(A,B,Cコース、続き)

13:40 -14:10  X線反射率データ例@ 半導体薄膜  淡路直樹(富士通)

14:10 -14:40 X線反射率データ例A 磁性体多層膜 上田和浩(日立)

14:40 -15:00 X線反射率データ例B ナノドット  奥田浩司(京大)

15:00 -15:10  休憩

15:10 -15:30 X線反射率データ例C ガラス転移・接着界面  桜井健次(物材機構)

15:30 -16:00 X線反射率データ例D 先端電子材料 川村朋晃(日亜化学)      

16:00 -16:30 X線反射率相談デスク(6か所設置) 

   

教材


「X線反射率法入門」(講談社、5940円)を参考書として配布するほか (ご希望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します)、すべての講義に完全対応したレジュメを用意いたします。
 

相談

X線反射率相談デスクは、次のメンバーで対応します。お気軽にご利用ください
淡路直樹 表和彦 川村朋晃 上田和浩 奥田浩司 桜井健次

受講費

19,000 円(非課税)。「X線反射率法入門」( 講談社)を既にお持ちの方は5,000円引きの 14,000円(非課税)です。

定員 


30名
 

参加申込み


氏名(ふりがな)、所属、住所、TELFAXe-mail、 実習コース(A, B, C)のご希望をご連絡下さい。
折り返し受付の連絡をいたします 。なお、いったん申し込まれた後、キャンセルされる場合も、いかなる理由であっても返金には応じかねますので、あらかじめご了承ください。
 

 

問い合わせ

国立研究開発法人物質・材料研究機構
量子ビームユニット 高輝度光解析グループ 
桜井健次

TEL 029-859-2821  FAX 029-859-2801
e-mail SAKURAI.Kenji@nims.go.jp