第4回講習会

主催  (社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会


日時

2010年3月16日(火) (春の応用物理の1日前)

場所

東京大学工学部6号館  (2F 61号、62号、64号講義室)
(〒113-8654 東京都文京区本郷7-3-1

http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/map01_01_j.html
http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/map01_02_j.html
最寄駅
地下鉄南北線、「東大前」
地下鉄丸の内線、大江戸線「本郷3丁目」
地下鉄千代田線、「根津」

   

ご案内


X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術です。本講習会 では、X線反射率法の経験豊富な専門家を講師陣に迎え、基礎から丁寧に解説を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習 を少人数のグループにて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、日頃の疑問に思っていること、質問したくてもなかなかできなかったことに、 8名の専門家がお答えします。
 

カリキュラム

  第1会場
(61号講義室)
第2会場
(62号講義室)
第3会場
(64号講義室)
08:45 開場、受付開始          
09:00 -09:10 イントロトーク 桜井健次(物材機構)        
09:10 -10:10 X線反射率 の原理と実験方法 表和彦
(リガク)
       
10:10 -10:15

休憩(移動)

10:15 -11:05 X線反射率で何がどうわかるかT 矢野陽子(立命館) X線反射率のデータ解析法T 上田和浩(日立)    
11:05 -11:10

休憩

11:10 -12:00 X線反射率で何がどうわかるかU 矢野陽子(立命館) X線反射率のデータ解析法U 桜井健次(物材機構)    
12:00 -13:00

昼食休憩(X線反射率相談デスク、8箇所設置

13:00 -13:50 X線反射率法の半導体分野への応用事例 淡路直樹(富士通) X線反射率法と併用すると有意義な技術T GISAXS 奥田浩司(京大)    
13:50 -14:40 X線反射率法の有機分子薄膜分野への応用事例 林好一
(東北大)
X線反射率法と併用すると有意義な技術U X線回折 川村朋晃(日亜化学)    
14:40 -14:45

休憩(移動)

14:45 -16:30 X線反射率法のデータ解析実習C. 初学者コース (16名 程度まで) 桜井健次(物材機構) X線反射率法のデータ解析実習B. 解析体験コース(16名 程度まで) 淡路直樹(富士通) X線反射率法のデータ解析実習A. 経験者コース  (8名 程度まで) 表和彦(リガク)
             
  シミュレーションの方法やデータ解析の手順、注意事項等を2,3の事例をもとに解説いたします。実演に使用するソフトウエア、データや等の電子ファイル およびプリント(レジュメ)をCコース受講者全員に配布します。ご希望があれば、実際の PC上での操作も体験していただくことができます。 ご自分のPCをお持ちください。解析体験用のソフト及び測定データを お配りし、 実際の解析を体験して頂きます。その後、個別のデータ解析の相談に対応します。もし既にお使いのソフトウエアがあればそれをお持ちください。 検討したいデータと ご自分のPCを必ずお持ちください。皆様の解析上の疑問点や不明点を個別指導致します 。このコースは、ご自分のデータをご自分で解析されたい方のみ参加できます。
 
 
 

午前後半と午後の講義は、初級コース(第1会場、クリーム色の講義)と中級コース(第2会場、黄緑の講義)のいずれかをお選びください。 初級コースは、X線反射率法の測定・解析の経験のない方、あるいは原理を基礎から学びたい方、中級コースは、ある程度経験のある方、もしくはX線回折法等の知識・経験をお持ちの方を想定しています。過去3回の講習会を受講された方に は、中級コースをお勧めいたします。実習コースについてもA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。

教材


「X線反射率法入門」(講談社、5775円)を参考書として配布するほか (ご希望があれば、着払い宅急便にて事前送付も致します)、午前・午後のすべての講義に完全対応したレジュメを用意いたします。
 

相談

X線反射率相談デスクは、次のメンバーで対応します。お気軽にご利用ください
淡路直樹 表和彦 川村朋晃 上田和浩 矢野陽子 林好一 奥田浩司 桜井健次
淡路直樹 表和彦 川村朋晃 上田和浩 矢野陽子 林好一 奥田浩司 桜井健次
淡路直樹 表和彦 川村朋晃 上田和浩 矢野陽子 林好一 奥田浩司 桜井健次

受講費


19,000 円 (「X線反射率法入門」 (講談社)を既にお持ちの方は5 000円引きの14,000円です)
 

定員 


40名
 

参加申込み


氏名(ふりがな)、所属、住所、TELFAXe-mail、 初級・中級のコース別と実習コース(A, B, C)のご希望をご連絡下さい。
折り返し受付の連絡と請求書の郵送をいたしますので、入金をお願いします。入金完了をもって、参加申込み完了となります。領収書は講習会当日に手渡しになります。
なお、いったん申し込まれた後、キャンセルされる場合も、いかなる理由であっても返金には応じかねますので、あらかじめご了承ください。
 

 

問い合わせ

独立行政法人物質・材料研究機構
量子ビームセンター 放射光解析グループ 
桜井健次

TEL 029-859-2821  FAX 029-859-2801
e-mail sakurai@yuhgiri.nims.go.jp

送金先口座

ジャパンネット銀行(銀行コード0033)、本店営業部(支店コード001)
普通3844666
 ウモレタカイメン
(短縮名義が使えるようになりました)

水戸信用金庫 つくば支店(店番035) 
普通0237487
 
ウモレタカイメンサクライケンジ
(短縮名義が使えるようになりました)