施設・装置Facilities

装置一覧 Facilities List

千現地区装置 Sengen site

実動環境対応物理分析電子顕微鏡
 （JEM-ARM200F-G）
　 Real Working Environment
 　Physical Characterization TEM

実動環境対応型電子線ホログラフィー
　電子顕微鏡（JEM-ARM200F-B）
　Real Working Environmental
　Electron Holography Microscope

200kV 電界放出形透過電子顕微鏡
 （JEM-2100F1, JEM-2100F2）
　200kV Field Emission
  Transmission ElectronMicroscope

200kV 透過電子顕微鏡 (JEM-2100）
　200kV Transmission Electron
　Microscope

走査電子顕微鏡（JSM-7000F）
　Field Emission Scanning Electron
　Microscope

デュアルビーム加工観察装置
 （NB5000）
　Dual Beam System

FIB/SEM精密微細加工装置
　(Helios 650)
　FIB/SEM microfabrication
　instrument

FIB 加工装置（JEM-9320FIB）
　Focused Ion Beam System

FIB 加工装置（JIB-4000）
　Focused Ion Beam Systems

FIB 加工装置
 （JEM-9310FIB）
　Focused Ion Beam System

ピックアップシステム
　Pick-up System

ウルトラミクロトーム（Leica EM UC6）
　Ultramicrotome

HRTEM 解析システム
　HRTEM Analysis System

電子線トモグラフィー解析システム
　Electron Tomography Analysis
　System

DPC 解析システム
　DPC analysis System

共用TEM 試料作製装置群
　Shared Instruments for TEM
　sample preparation
　(Ion Slicer, PIPS, Dimple Grinder,
　 Osmium coater, and others.)

技術代行TEM 試料作製施設
　TEM sample prep. equipment for
　“Technical Surrogate”