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Last Update: 10/15/2004


当グループではプラズマ技術を用いたダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(cBN)および六方晶窒化ホウ素(hBN)の合成、評価の研究を行っています。ダイヤモンドやcBNは、超硬質物質として石材切削用工具などとして利用されていることはよく知られていますが、他にワイドバンドギャップ半導体という特性ももっています。また、hBNは遠紫光領域で効率的に発光するという特異な性質を持っています。当グループでは、この半導体特性に注目し、電子材料としての応用をめざして、その基盤となる次の研究を行っています。

  1. 不純物を添加したダイヤモンドの合成(pdfファイル)
  2. 電気的、光学的特性の評価
  3. CVDダイヤモンドの生成機構の解明と合成技術の高度化
  4. プラズマ技術を用いてのcBN等、新材料開発
  5. 新しい遠紫外発光材料としてのhBN


e-mail : YAMAUCHI.Miyoko@nims.go.jp