スーパーダイヤモンドとは、気相法により合成した立方晶BN膜や単結晶ダイヤモンド膜を指し、当研究所が命名したものです。スーパーダイヤモンドは、化学的に安定で熱を伝えやすく、放射線などにも強いなどの優れた性質をもっており、シリコンを超える次世代の半導体素子としての応用が期待される、“夢の新素材”です。世界に先駆け、当グループでは平成５年度からスーパーダイヤモンドの創製に着手し、次の３点を組織的に研究しています。
１．立方晶BNの薄膜化技術の開発
２．高品質ダイヤモンド膜の合成技術の開発
３．特性評価技術の開発
