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表面化学分析グループ

表面・表層領域における元素の3次元分析は物質のキャラクタリゼーションには不可欠のものです。このためにオージェ電子分光装置(AES)、X線光電子分光装置(XPS)、電子線マイクロアナライザー(EPMA)等の測定技術および解析の高度化を進めています。しかし、目的を達成するには個々の手法では限界があり、これらを組み合わせた新たな測定法や解析法の開発が不可欠です。そこで、複合データによる3次元分析を可能とする要素技術について研究する共に、キーとなる電子と固体の相互作用を正確に記述する物理量を基礎とした電子輸送シミュレータを開発し、分析情報を3次元的に解析・統合するアルゴリズムについて検討しています。これにより、表面・表層部に存在する元素の3次元分析 (元素分布,化学状態,存在状態) を実用的な分解能で非破壊分析するシステムの確立を目指しています。

専門分野・研究対象

電子輸送シミュレータの開発とXPS分析への応用

開発した電子輸送シミュレータを用いて、高エネルギーXPSにおける非対称パラメータを考慮した光電子放出深さ分布関数(EDDF)の精密解析を行いました。
これにより、Ni 1s (1094.6eV)光電子が放出する際の非対称パラメーターは、通常の双極子遷移だけでは説明できず、多重極遷移まで考慮すべきであることが明らかになりました。本研究で得られたNi 1s光電子のEDDFを示します :  多極子遷移効果を含む非対称パラメーターを考慮した場合 (左図) とそれを無視した場合 (右図)

「図 : 非対称パラメーターの形状の違いによるEDDFの違い」の画像

図 : 非対称パラメーターの形状の違いによるEDDFの違い




グループメンバー

お問い合わせ先

表面化学分析グループ
〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
TEL: 029-859-2451
E-Mail: YOSHIKAWA.Hideki=nims.go.jp([ = ] を [ @ ] にしてください)
国立研究開発法人物質・材料研究機構
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