NIMSイブニングセミナー2010前期(12) 「ダイヤモンド電子デバイス」

「ダイヤモンド電子デバイス」

小泉 聡

センサ材料センター 光学センシング材料グループ　主幹研究員

宝石として珍重されるダイヤモンドを電子デバイスに利用していく上で欠かせない半導体化、デバイス基礎構造の形成に関して述べる。特に最近の重要な成果である深紫外線発光が得られるLED、宇宙空間での紫外線観測、原子炉からの高エネルギー放射線計測に用いられるダイヤモンドセンサー、電子放出デバイスに関して詳しく紹介する。

2010年7月9日 17:00～19:00

「酸化スズ薄膜のエピタキシャル成長」

菱田 俊一

センサ材料センター センサ化学グループ　主席研究員／若手国際研究センター(ICYS)　副センター長

高性能な酸化物薄膜を得るためにはエピタキシャル成長した膜を作製することが重要である。酸化スズ薄膜のエピタキシャル成長について、特に基板材料の効果について紹介する。またイオンビーム等を用いた組成・表面構造改質による基板特性制御が薄膜成長に及ぼす影響について解説する。