Pulsed Laser Deposition(PLD)
解説
Pulsed Laser Deposition(PLD)は、イタリアのローマ大学より2009年1月に、国際ナノアーキテクトニクス研究拠点(MANA)のPI…Principal Investigater:主任研究者…として移籍した、E.Traversa博士率いるイタリア人チームで行われている研究の1テーマである個体酸化物燃料電池(SOFC)における新しい素材探索研究の実験装置です。
真空チャンバー内に置かれたターゲットへ、レーザー光を照射することで、ターゲット物質を酸素雰囲気中で噴出させ、その物質をターゲット上部に設置した基板へ堆積させることで、酸化物薄膜を形成します。
Copyright (C) 2010 NIMS. All Rights Reserved.
真空チャンバー内に置かれたターゲットへ、レーザー光を照射することで、ターゲット物質を酸素雰囲気中で噴出させ、その物質をターゲット上部に設置した基板へ堆積させることで、酸化物薄膜を形成します。
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