透過型電子顕微鏡（Transmission electron microscope:TEM）を使った観察・分析の体験をしていただける、大学生と大学院生の方向けの体験コースです。
TEMのレンズはコイルに電流を流し、それによって発生する磁場によって焦点の位置を変えられ、レンズ電流を変更することで、実像観察モードと回折図形観察モードの切り替えを瞬時にできます。また、収束した電子を走査することにより走査透過型電子顕微鏡像も得ることができます。さらに、複数の電子検出器を使うことで暗視野と明視野像を同時に取得することができ、X線検出器を用いることで観察領域の元素分析もできます。

物質・材料研究に必須な透過電子顕微鏡(TEM)観察では、電子線が透過できる ように事前に試料を薄膜状に加工しておく必要があります。その有力な方法が、集束イオンビームの照射による試料のスパッタリングを利用した、集束イオンビーム(FIB)法です。今回、試料観察用の走査電子顕微鏡(SEM)が付属した、FIB-SEM複合装置（日立ハイテクEthos NX5000）を用いて、基本工程となる「①試料のエッチング」と「②ガスデポジションによる保護膜形成」を体験していただきます。