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電子顕微鏡ステーション

あなたのナノ材料、TEMで見てみませんか?

電子顕微鏡ステーションでは、電子顕微鏡を専門とする研究者を中心としたスタッフにより、研究的な要素の強い課題に対して、試料作製から解析までの支援を展開します。

責任者
イオン注入その場観察超高圧電子顕微鏡を用いたナノ計測・解析支援:三石 和貴イオン注入その場観察超高圧電子顕微鏡を用いたナノ計測・解析支援
三石 和貴

超高分解能電子顕微鏡を用いたナノ計測・解析支援:原 徹超高分解能電子顕微鏡を用いたナノ計測・解析支援
原 徹

原子識別電子顕微鏡を用いたナノ計測・分析支援:三留 正則原子識別電子顕微鏡を用いたナノ計測・分析支援
三留 正則

超高圧電子顕微鏡

電子顕微鏡は材料の情報を得るための非常に強力な手段です。 さまざまな電子顕微鏡手法によって、じつにさまざまな試料の情報を得ることができます。 一方でさまざまな手法があるために、奥が深く経験のない方にとっては敷居が高いのも事実です。 また、高度な装備や、高度に調整・維持管理された装置を必要とし、多くの研究者の方々には物理的にも身近な装置ではないかもしれません。 ナノネットワークプロジェクトではそういった研究者の方々へ利用していただくための文部科学省による委託事業です。
 ご自身の材料に関して、「TEMなら判るのではないか?」と思われることがありましたら、お気軽にメールにてお問い合わせください。
1. そもそもTEMによって得られる情報か?
2. NIMSのTEMで実施可能か?
3. ナノネットワークプロジェクトの枠組みでの支援が可能か、それ以外の枠組みで行うべきか?
などの点をなるべく早くご回答いたします。
(※)ナノネットワークプロジェクトは、研究的要素の強い課題を支援するためのプログラムで、得られた成果を論文や学会発表などの形で公開いただくような研究を対象としています。また、年度末には簡単な報告書を提出いただきます。 特許出願や論文投稿などのため、公開猶予を希望する場合には、報告書の提出を一年猶予することが可能です。成果を非公開としたい案件に対しては、ナノネット以外の枠組みでTEMをご利用いただくことが可能な場合もあります。 詳しくはメールにてご相談ください。

文責 ナノ計測・分析領域 実施責任者 三石和貴
E-Mail: em_nims[AT]nims.go.jp("[AT]"を"@"に変換してください)



その場観察超高圧電子顕微鏡による解析支援

利用可能装置例

JEM ARM-1000 超高圧電子顕微鏡

加速電圧1000kVの超高圧電子顕微鏡で、通常のTEMよりも厚い試料の観察を行うことができ、大きく切りだして広い範囲を観察するなどに力を発揮します。 また、独自開発の360度回転試料ホルダーによって、超高圧の高い電子線透過能を生かしたトモグラフィーも可能です。 その他、800度までの加熱ホルダー、液体窒素温度低温ホルダーも利用可能です。

JEOL JEM-2500SES STEM-EELS

200kVの収差補正装置つきSTEMで、エネルギー損失分光(EELS)によって材料の組成や、価数などの情報を得ることができます。 最近では、試料導入チャンバーにグローブバックをつけることにより、大気に暴露することのできない試料の観察も可能となっています。 その他、800度までの高温ホルダーが利用可能です。

JEM-3000F 300kV予備観察電子顕微鏡

300kV の汎用、しかし強力なTEMで、EELSによるイメージフィルター像、EDSスペクトルが取得可能です。 またバイプリズムを装備しており、電子線ホログラフィーによる磁場・電位測定が可能です。 この他、ピエゾ駆動の短針を備えた試料ホルダーや、1200度までの加熱ホルダ一、液体窒素温度冷却ホルダーなどが利用可能です。


超高分解能・超高圧電顕による解析支援

超高分解能超高圧電子顕微鏡(Hitachi: H-1500型)

超高分解能超高圧電子顕微鏡(Hitachi: H-1500型)

超高分解能超高圧電子顕微鏡は、最大加速電圧1300kV、粒子分解能0.1nmの超高分解能を、世界に先駆けて達成した(1990年)。
400kV-1300kVにて制限視野電子回折図形、明視野・暗視野電顕像、及び超高分解能原子配列像の観察が可能。フィルム、イメージングプレートによる静止画像、CCDカメラによる動的画像の記録が可能。

  • 粒子像の分解能:0.1nm (1300kV)
  • 極低温観察が可能:15K (液体ヘリウム),90K (液体窒素)

CoSr2YCu2O7.0の高分解能TEM像 (a)と構造モデル図 (b)

超伝導物質


原子識別電子顕微鏡による解析支援

原子識別電子顕微鏡

オメガ型エネルギーフィルターおよびエネルギー分散型X線分光器を搭載した電子顕微鏡です。これらの装置により、軽元素から重元素まで、幅広い元素の分布像を、高分解能で観察することができます。

  • 粒子像の分解能:0.17nm
  • 元素分布像の分解能:0.5nm
  • EDS, EELS分析

Zn0.95Cr0.05Te膜のCr分布像Zn0.95Cr0.05Te膜のCr分布像

電子顕微鏡ステーションのお問い合わせ先

独立行政法人物質・材料研究機構 電子顕微鏡ステーション

〒305-0044 茨城県つくば市並木1-1
E-Mail: em_nims[AT]nims.go.jp("[AT]"を"@"に変換してください)