ナノ集積ライン // ナノテクノロジー融合センター

リソグラフィ

電子線描画装置、レーザー露光装置、マスクアライナー、プラズマアッシャー、UVオゾンクリーナー

薄膜形成・熱処理

12連電子線蒸着装置、超高真空電子線蒸着装置、スパッタ装置、超高真空スパッタ装置、原子層堆積装置、プラズマCVD装置、急速赤外線アニール炉、シリコン酸化・熱処理炉

ドライエッチング

多目的ドライエッチング装置、化合物ドライエッチング装置、酸化膜ドライエッチング装置、シリコン深堀エッチング装置

FIB・計測

FIB-SEMダブルビーム装置（Xvision200）、FIB加工装置（SMI9800SE）、電界放出形走査電子顕微鏡、コーティング装置、原子間力顕微鏡、自動エリプソメータ、触針式表面段差測定装置、3次元測定レーザー顕微鏡、マイクロビーム型多機能高分解能X線回折装置

切削・研磨・素子評価

ダイシングソー、スクライビング装置、ブレーキング装置、CMP研磨装置、室温測定プローバーシステム、極低温プローバーシステム、ワイヤーボンダー、ワイヤーソー