統括マネージャー
小出康夫

ナノ集積ラインでは、全国の独法・大学・企業のナノテクノロジー研究者に対して、最先端のナノテクノロジー「超微細加工」に関する施設、設備、および高度な技術支援を提供し、イノベーションにつながる研究成果の創出を目指すことを目的としています。

ナノ集積ラインは、プロセス評価エリア、成膜エリア、ドライエッチングエリア、熱処理エリア、塗布・現像エリア、露光エリア、および描画エリアの7つのエリアから構成された450m²のクリーンルームを主要施設として平成19年度に設置されました。

本ラインには世界最高水準の微細プロセッシング・ナノスケール観察・測定評価設備が完備されており、専門家スタッフの技術支援の基に、半導体材料、酸化物材料、誘電体材料、磁性材料、金属材料、複合材料等様々な材料のナノからマイクロスケール、更にはミリスケールにわたる3次元的な微細加工の支援を行います。

更に、ナノ集積ラインはソフトマテリアルラインとも連携することにより、自然科学から生命科学にわたる学際的融合研究や独法・大学・企業間の共同研究を積極的に促進します。異なる分野の研究者間あるいは独法・大学・企業の研究者間の積極的な交流を通して、新しい視点、思わぬ発見、更にはイノベーションにつながる場となることを期待しています。