NIMS微細加工プラットフォーム
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利用について

   

利用料金

NIMS微細加工プラットフォーム利用料金表

 

料金は各装置の利用時間(予約時間)に応じた時間課金従量制です。
下表の利用料金は「ナノテクプラット事業(利用報告書を提出する利用)」にのみ適用されます。
毎月の利用に応じた積算額を翌月請求させていただきます。

非公開利用(利用報告書を提出しない利用)を希望される場合の料金は,目安として次のとおりです。
◯ 非公開利用単価(大企業) = 公開利用単価(大企業) の約3倍 (間接経費別,消費税別)
◯ 非公開利用単価(中小企業)= 公開利用単価(中小企業)の約3倍 (間接経費別,消費税別)
また,非公開利用の場合は毎月請求ではなく,一括請求となります。

ご不明な点は「利用相談」よりお問い合わせ下さい。

※下表は公開利用時の利用単価(税抜表示) 
No. 装置リスト アカデミア所属利用者 中小企業所属利用者 大企業所属利用者
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行
1 125kV電子ビーム描画装置 \6,300 \7,800 \10,200 \12,600 \15,600 \20,400 \18,900 \23,400 \30,600
2 100kV電子ビーム描画装置 \4,300 \5,800 \8,200 \8,600 \11,600 \16,400 \12,900 \17,400 \24,600
3 ナノインプリント装置 \2,300 \3,800 \6,800 \4,600 \7,600 \13,600 \6,900 \11,400 \20,400
4 高速マスクレス露光装置 \3,300 \4,800 \6,300 \6,600 \9,600 \12,600 \9,900 \14,400 \18,900
5 レーザー露光装置 \2,300 \3,800 \5,300 \4,600 \7,600 \10,600 \6,900 \11,400 \15,900
6 マスクアライナー \2,300 \3,800 \5,600 \4,600 \7,600 \11,200 \6,900 \11,400 \16,800
7 全自動スパッタ装置 \2,300 \3,800 \4,550 \4,600 \7,600 \9,100 \6,900 \11,400 \13,650
8 超高真空スパッタ装置 \2,300 \3,800 \5,600 \4,600 \7,600 \11,200 \6,900 \11,400 \16,800
9 12連電子銃型蒸着装置 \2,300 \3,800 \5,300 \4,600 \7,600 \10,600 \6,900 \11,400 \15,900
10 超高真空電子銃型蒸着装置 \2,300 \3,800 \5,600 \4,600 \7,600 \11,200 \6,900 \11,400 \16,800
11 原子層堆積装置 \2,300 \3,800 \4,550 \4,600 \7,600 \9,100 \6,900 \11,400 \13,650
12 プラズマCVD装置 \2,300 \3,800 \4,550 \4,600 \7,600 \9,100 \6,900 \11,400 \13,650
13 多目的ドライエッチング装置 \2,300 \3,800 \5,750 \4,600 \7,600 \11,500 \6,900 \11,400 \17,250
14 化合物ドライエッチング装置 \2,300 \3,800 \5,750 \4,600 \7,600 \11,500 \6,900 \11,400 \17,250
15 シリコン深掘エッチング装置 \2,300 \3,800 \5,750 \4,600 \7,600 \11,500 \6,900 \11,400 \17,250
16 酸化膜ドライエッチング装置 \3,300 \4,800 \6,750 \6,600 \9,600 \13,500 \9,900 \14,400 \20,250
17 FIB-SEMダブルビーム装置 \4,300 \5,800 \8,800 \8,600 \11,600 \17,600 \12,900 \17,400 \26,400
18 ウエハRTA装置 \2,300 \3,800 \5,000 \4,600 \7,600 \10,000 \6,900 \11,400 \15,000
19 急速赤外線アニール炉 \2,300 \3,800 \5,000 \4,600 \7,600 \10,000 \6,900 \11,400 \15,000
20 シリコン酸化・熱処理炉 \2,300 \3,800 \5,000 \4,600 \7,600 \10,000 \6,900 \11,400 \15,000
21 走査電子顕微鏡 \2,300 \3,800 \5,900 \4,600 \7,600 \11,800 \6,900 \11,400 \17,700
22 原子間力顕微鏡 \2,300 \3,800 \5,900 \4,600 \7,600 \11,800 \6,900 \11,400 \17,700
23 3次元測定レーザー顕微鏡 \2,300 \3,800 \4,550 \4,600 \7,600 \9,100 \6,900 \11,400 \13,650
24 ダイシングソー \2,300 \3,800 \5,600 \4,600 \7,600 \11,200 \6,900 \11,400 \16,800
25 自動スクライバー \1,000 \2,500 \4,300 \2,000 \5,000 \8,600 \3,000 \7,500 \12,900
26 CMP研磨装置 \1,000 \2,500 \4,750 \2,000 \5,000 \9,500 \3,000 \7,500 \14,250
27 室温プローバーシステム \1,000 \2,500 \4,750 \2,000 \5,000 \9,500 \3,000 \7,500 \14,250
28 極低温プローバーシステム \1,000 \2,500 \4,750 \2,000 \5,000 \9,500 \3,000 \7,500 \14,250
29 ワイヤーボンダー \1,000 \2,500 \4,750 \2,000 \5,000 \9,500 \3,000 \7,500 \14,250
30 高圧ジェットリフトオフ装置 \2,300 \3,800 \4,400 \4,600 \7,600 \8,800 \6,900 \11,400 \13,200
31 基板洗浄プロセス支援 - \3,800 \4,400 - \7,600 \8,800 - \11,400 \13,200
32 リフトオフプロセス支援 - \3,800 \4,400 - \7,600 \8,800 - \11,400 \13,200
33 レジスト剥離プロセス支援 - \3,800 \4,400 - \7,600 \8,800 - \11,400 \13,200
34 ウェットエッチング支援 - \3,800 \4,400 - \7,600 \8,800 - \11,400 \13,200
35 CAD作成支援 - \2,500 \5,500 - \5,000 \11,000 - \7,500 \16,500
36 CR実験設備(のみ) \1,300 \2,800 - \2,600 \5,600 - \3,900 \8,400 -

【備考】
1. 上記表は,1時間当たりの利用に係る利用単価であり,これに利用時間(※)を乗じた金額が利用料金(消費税別)となります。
2. 30分未満の利用については30分として算出し,以後30分単位で利用料金を算出します。
3. 「機器利用」は,NIMS微細加工PFスタッフによって『機器利用ライセンス』を付与されたユーザーが自身で操作する支援形態です。
4. 「技術補助」は,NIMS微細加工PFスタッフと一緒に装置操作・実験を行う支援形態です(操作トレーニングも含む)。
5. 「技術代行」は,事前の打合せ等で依頼された内容をNIMS微細加工PFスタッフが実施する支援形態です。
6. 「技術補助・技術代行」の単価は,装置利用料金も含んだ価格です。
7. 付帯装置やクリーンルーム内作業のみの利用は、「CR実験設備」の利用として費用が発生いたします。
8. 当該料金設定は,平成28年4月1日より適用されます。
利用時間とは,装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です。仮に,予約時間通りに実際に使用しなかった場合でも利用料金は発生いたします。ただし,技術補助・技術代行の場合において,装置もしくは支援スタッフの都合にて使用しなかった場合はこの限りではありません。

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【各種問合せ】
NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047  茨城県つくば市千現1−2−1
TEL:029-859-2797
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp