NIMS微細加工プラットフォーム
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利用について

   

利用料金

NIMS微細加工プラットフォーム利用料金表

 

料金は各装置の利用時間(予約時間)に応じた時間課金従量制です。
下表の利用料金は「ナノテクプラット事業(利用報告書を提出する利用)」にのみ適用されます。
毎月の利用に応じた積算額を翌月請求させていただきます。
A use charge is depended on your booking time of each equipment. The following table shows a price per hour of each equipment. A bill depending on your use every month will be delivered to you in next month.

非公開利用(利用報告書を提出しない利用)を希望される場合の料金は,目安として次のとおりです。
◯ 非公開利用単価(大企業) = 公開利用単価(大企業) の約2.0倍 (間接経費別,消費税別)
◯ 非公開利用単価(中小企業)= 公開利用単価(中小企業)の約1.5倍 (間接経費別,消費税別)
また,非公開利用の場合は毎月請求ではなく,一括請求となります。

ご不明な点は「利用相談」よりお問い合わせ下さい。

※下記表は平成30年4月1日以降の利用単価(税抜表示) 
No. 装置リスト アカデミア・NIMS所属利用者 中小企業相当(*1)所属利用者 大企業相当(*2)所属利用者
機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行 機器利用 技術補助 技術代行
1 125kV電子ビーム描画装置 \11,000 \14,000 \17,000 \21,000 \27,000 \33,000 \26,000 \33,500 \41,000
2 100kV電子ビーム描画装置 \7,000 \10,000 \13,000 \13,000 \19,000 \25,000 \16,000 \23,500 \31,000
3 ナノインプリント装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
4 高速マスクレス露光装置 \5,000 \8,000 \11,000 \9,000 \15,000 \21,000 \11,000 \18,500 \26,000
5 レーザー露光装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
6 マスクアライナー \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
7 プラズマアッシャー \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
8 UVオゾンクリーナー \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
9 エキシマクリーナー \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
10 全自動スパッタ装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
11 超高真空スパッタ装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
12 12連電子銃型蒸着装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
13 超高真空電子銃型蒸着装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
14 原子層堆積装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
15 プラズマCVD装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
16 高圧ジェットリフトオフ装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
17 多目的ドライエッチング装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
18 化合物ドライエッチング装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
19 シリコン深掘エッチング装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
20 酸化膜ドライエッチング装置 \5,000 \8,000 \11,000 \9,000 \15,000 \21,000 \11,000 \18,500 \26,000
21 FIB-SEMダブルビーム装置 \7,000 \10,000 \13,000 \13,000 \19,000 \25,000 \16,000 \23,500 \31,000
22 急速赤外線アニール炉 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
23 シリコン酸化・熱処理炉 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
24 ウエハRTA装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
25 走査電子顕微鏡 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
26 原子間力顕微鏡 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
27 3次元測定レーザー顕微鏡 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
28 自動エリプソメータ \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
29 触針式表面段差計 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
30 イオンスパッタ \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
31 オスミウムコータ \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
32 薄膜応力測定装置 \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
33 ダイシングソー \3,000 \6,000 \9,000 \5,000 \11,000 \17,000 \6,000 \13,500 \21,000
34 自動スクライバー \2,000 \5,000 \8,000 \4,000 \10,000 \16,000 \5,000 \12,500 \20,000
35 CMP研磨装置 \2,000 \5,000 \8,000 \4,000 \10,000 \16,000 \5,000 \12,500 \20,000
36 室温プローバーシステム \2,000 \5,000 \8,000 \4,000 \10,000 \16,000 \5,000 \12,500 \20,000
37 液体窒素プローバーシステム \2,000 \5,000 \8,000 \4,000 \10,000 \16,000 \5,000 \12,500 \20,000
38 極低温プローバーシステム \2,000 \5,000 \8,000 \4,000 \10,000 \16,000 \5,000 \12,500 \20,000
39 ワイヤーボンダー \2,000 \5,000 \8,000 \4,000 \10,000 \16,000 \5,000 \12,500 \20,000
40 基板洗浄プロセス支援 - \3,000 \6,000 - \6,000 \12,000 - \7,500 \15,000
41 リフトオフプロセス支援 - \3,000 \6,000 - \6,000 \12,000 - \7,500 \15,000
42 レジスト剥離プロセス支援 - \3,000 \6,000 - \6,000 \12,000 - \7,500 \15,000
43 ウェットエッチング支援 - \3,000 \6,000 - \6,000 \12,000 - \7,500 \15,000
44 CAD作成支援 - \3,000 \6,000 - \6,000 \12,000 - \7,500 \15,000
*1 資本金1億円以下の民間企業等
*2 資本金1億円超の民間企業等

【備考】
1. 上記表は,1時間当たりの利用に係る利用単価であり,これに利用時間(※)を乗じた金額が利用料金(消費税別)となります。
2. 15分未満の利用については15分として算出し,以後15分単位で利用料金を算出します。
3. 「機器利用」は,NIMS微細加工PFスタッフによって『機器利用ライセンス』を付与されたユーザーが自身で操作する支援形態です。
4. 「技術補助」は,NIMS微細加工PFスタッフと一緒に装置操作・実験を行う支援形態です(操作トレーニングも含む)。
5. 「技術代行」は,事前の打合せ等で依頼された内容をNIMS微細加工PFスタッフが実施する支援形態です。
6. 「技術補助・技術代行」の単価は,装置利用料金も含んだ価格です。
7. 上記表の設備を利用せず、クリーンルームのみを利用する場合は、\1,000/時(消費税別)の費用が発生いたします。
8. 当該料金設定は,平成30年4月1日より適用されます。
利用時間とは,装置予約時間(=装置占有時間:装置の立ち上げ/終了作業時間含む)です。仮に,予約時間通りに実際に使用しなかった場合でも利用料金は発生いたします。ただし,技術補助・技術代行の場合において,装置もしくは支援スタッフの都合にて使用しなかった場合はこの限りではありません。

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【各種問合せ】
NIMS微細加工プラットフォーム事務局
〒305-0047  茨城県つくば市千現1−2−1
TEL:029-859-2797
FAX:029-859-2309
Email:NIF-office@nims.go.jp