NIMS微細加工プラットフォーム
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施設・装置

   

装置紹介

リソグラフィー装置群

 
 125kV電子ビーム描画装置
電子ビーム描画装置
メーカー名 エリオニクス
型番 ELS-F125
用途 高速高精細ナノパターニング
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 100kV電子ビーム描画装置
電子ビーム描画装置
メーカー名 エリオニクス
型番 ELS-7000
用途 高精細ナノパターニング
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 ナノインプリント装置
ナノインプリント装置
メーカー名 東芝機械
型番 ST50
用途 高速ナノパターニング
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 高速マスクレス露光装置
ナノインプリント装置
メーカー名 ナノシステムソリューションズ
型番 DL-1000 / NC2P
用途 高速・高精度マスクレスパターニング
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 レーザー露光装置
レーザー露光装置
メーカー名 ナノシステムソリューションズ
型番 DL-1000
用途 マスクレスマイクロパターニング
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 マスクアライナー
マスクアライナー
メーカー名 ズース・マイクロテック
型番 MA6 BSA
用途 高スループットマイクロパターニング
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 プラズマアッシャー
プラズマアッシャー
メーカー名 ヤマト科学
型番 PB-600
用途 基板クリーニング,レジスト剥離
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 UVオゾンクリーナー
UVオゾンクリーナー
メーカー名 サムコ
型番 UV-1
用途 基板クリーニング,表面改質
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 エキシマクリーナー
エキシマクリーナー
メーカー名 マルチプライ
型番 EXC-1201
用途 基板精密クリーニング,表面改質
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薄膜形成装置群

 
 全自動スパッタ装置
全自動スパッタ装置
メーカー名 アルバック
型番 J sputter
用途 金属・絶縁薄膜形成
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 超高真空スパッタ装置
超高真空スパッタ装置
メーカー名 ビームトロン
型番  
用途 垂直対向スパッタによる薄膜形成
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 12連電子銃型蒸着装置
12連電子銃型蒸着装置
メーカー名 アールデック
型番 RDEB-1206K
用途 リフトオフ向け金属薄膜形成
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 超高真空電子銃型蒸着装置
超高真空電子銃型蒸着装置
メーカー名 エイコーエンジニアリング
型番  
用途 リフトオフ向けアルミ薄膜形成
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 原子層堆積装置
原子層堆積装置
メーカー名 Picosun (アルテック)
型番 SUNALE R-100B
用途 高品質絶縁膜形成
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 プラズマCVD装置
プラズマCVD装置
メーカー名 サムコ
型番 PD-220NL
用途 高品質SiO2薄膜形成
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 高圧ジェットリフトオフ装置
メーカー名 カナメックス
型番 KLO-150CBU
用途 リフトオフ、レジスト剥離
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ドライエッチング装置群

 
 多目的ドライエッチング装置
多目的ドライエッチング装置
メーカー名 サムコ
型番 RIE-200NL
用途 多種材料のドライエッチング
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 化合物ドライエッチング装置
化合物ドライエッチング装置
メーカー名 サムコ
型番 RIE-101iPH
用途 化合物半導体・金属薄膜のドライエッチング
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 シリコン深堀エッチング装置
シリコン深堀エッチング装置
メーカー名 住友精密工業
型番 MUC-21 ASE-SRE
用途 MEMS等,シリコン深堀エッチング
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 酸化膜ドライエッチング装置
酸化膜ドライエッチング装置
メーカー名 住友精密工業
型番 MUC-21 RV-APS-SE
用途 SiC,SiN,SiO2や酸化膜の高速エッチング
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 FIB-SEMダブルビーム装置
FIB-SEMダブルビーム装置
メーカー名 SIIナノテクノロジー
型番 Xvision200DB
用途 TEM試料作製,イオン照射による直接加工
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熱処理装置群

 
 急速赤外線アニール炉
急速赤外線アニール炉
メーカー名 アルバック理工
型番 QHC-P410
用途 合金化,急速アニール
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 シリコン酸化・熱処理炉
シリコン酸化・熱処理炉
メーカー名 光洋サーモシステム
型番 MT-2-6X20-A
用途 小片シリコン酸化,長時間アニール
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 ウエハRTA装置
急速赤外線アニール炉
メーカー名 ハイソル
型番 AccuThermo AW610
用途 小片からφ6インチまでの急速アニール
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プロセス評価・観察装置群

 
 走査電子顕微鏡
走査電子顕微鏡
メーカー名 日立ハイテク
型番 S-4800
用途 ナノ構造・材料の観察・計測
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 原子間力顕微鏡
原子間力顕微鏡
メーカー名 SIIナノテクノロジー
型番 L-traceⅡ
用途 ナノ構造・材料の観察・計測
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 3次元測定レーザー顕微鏡
3次元測定レーザー顕微鏡
メーカー名 オリンパス
型番 LEXT OLS4000
用途 非接触3次元形状観察・計測
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 イオンスパッタ
イオンスパッタ
メーカー名 日立ハイテク
型番 E-1045
用途 SEM,FIB-SEMの前処理
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 自動エリプソメータ
自動エリプソメータ
メーカー名 ファイブラボ
型番 MARY-102FM
用途 絶縁膜形成評価
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 触針式表面段差計
触針式表面段差計
メーカー名 KLA Tencor
型番 Alpha Step IQ
用途 接触式段差測定
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 オスミウムコータ
自動エリプソメータ
メーカー名 メイワフォーシス
型番 Neoc-Pro
用途 SEM,FIB-SEMの前処理
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切削・研磨装置群

 
 ダイシングソー
ダイシングソー
メーカー名 ディスコ
型番 DAD322
用途 シリコン/石英/サファイア基板の小片化
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 自動スクライバー
自動スクライバー
メーカー名 ダイトロンテクノロジー
型番 DPS-301R
用途 半導体基板の小片化
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 CMP研磨装置
CMP研磨装置
メーカー名 Logitech
型番 PM5
用途 半導体基板の薄片化/平坦化
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 ブレイキング装置
手動スクライバー
メーカー名 ダイトロンテクノロジー
型番 DBM-401R
用途 半導体基板のへき開
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 手動スクライバー
手動スクライバー
メーカー名 共和理研
型番 K-604S100
用途 半導体基板の小片化
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電気特性評価装置群

 
 室温プローバーシステム
室温プローバーシステム
メーカー名 ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー
型番 MX-200/B,B1500A
用途 I-V/C-V特性評価
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 極低温プローバーシステム
極低温プローバーシステム
メーカー名 ナガセテクノエンジニアリング,ケースレー
型番 GRAIL10-308-6-4K-LV-SCM,4200-SCS
用途 4K台から室温までのI-V/C-V特性評価
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 ワイヤーボンダー
ワイヤーボンダー
メーカー名 West Bond
型番 7476D
用途 チップキャリアへのボンディング
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【各種問合せ】
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