開講する「ナノ加工・計測序論とファンドリー実習」は、ナノテク加工技術を習得したい学生向けの入門授業で、講義と実習の両面から一通り概観できる構成になっています。本授業では微細加工の基本的なプロセスを系統的に概観する序論と、ファウンドリー施設内での実習を体感することにより、微細加工技術を総合的に学ぶ事を特徴としています。
講義は筑波大学大学院で行い、実習は物質・材料研究機構 NIMSナノテクノロジー拠点ナノテクノロジー融合支援センターのナノファウンドリー施設で行います
実習はデバイスコースとナノ計測コースの二つのコースから選択でき、コース別に詳細なプロセス講義と試作デバイスの性能計測までを一貫して体験できる体験型授業になっています。
「ナノ加工・計測序論とファンドリー実習」の構成
| 日程 |
内容 |
場所/担当者 |
| 一日目 |
|
ナノ加工・計測序論 |
筑波大学/筑波大学教員 |
| 二日目 |
午前 |
ナノ加工・計測序論 |
筑波大学/筑波大学教員 |
| 午後 |
実習プロセスの詳細講義 |
筑波大学/物質・材料研究機構職員
(筑波大学連係大学院教員) |
| 三日目 |
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プロセス実習 |
物質・材料研究機構ファウンドリー施設/
物質・材料研究機構職員 (筑波大学連係大学院教員) |
| 四日目 |
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| 五日目 |
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機能評価の講義・実習 |
物質・材料研究機構ファウンドリー施設/
物質・材料研究機構職員 (筑波大学連係大学院教員) |
※実習班は、デバイスコースとナノ計測コースから選択
