ナノチューブグループ｜国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

■原子識別電子顕微鏡(JEM-3100FEF)	■電界放射型分析電顕(JEM-3000F)
加速電圧300kVで鏡筒内にオメガ型エネルギーフィルターを装備した、世界初の電子顕微鏡。材料に含まれる元素の分布像を、分解能0.5nmで撮影することができる。	電界放射型の電子銃を備えた分析電子顕微鏡。0.4nmの電子線プローブにより、超微細領域の分析が可能。


■カーボンナノチュブ成膜装置	■赤外線導入加熱システム
プラズマを用いてカーボンナノチューブを生成する装置	赤外線照射により物質を加熱する装置


■ナノ構造物質創製装置	■ナノスケール物質熱測定装置
ナノチューブを生成するための高周波加熱炉	ナノチューブなどの熱物性を測定する装置


■高温ガス中レーザー蒸発装置	■酸化物薄膜スパッタ装置
レーザー照射によって瞬間的に物質を蒸発させ、新しいナノ物質を生成する装置	スパッタにより多層の酸化物薄膜を作成する装置


■走査型電子顕微鏡(JSM-6700F)
電子線を走査して試料の形状を観察する顕微鏡。電界放射型電子銃を備えており、分解能は1nm。