■原子識別電子顕微鏡(JEM-3100FEF) ■走査型電子顕微鏡(JSM-6700F) 加速電圧300kVで鏡筒内にオメガ型エネルギーフィルターを装備した、世界初の電子顕微鏡。材料に含まれる元素の分布像を、分解能0.5nmで撮影することができる。 電子線を走査して試料の形状を観察する顕微鏡。電界放射型電子銃を備えており、分解能は1nm。

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