5. 開発材料の表面欠陥を高精度に検出する装置の高度化

センサA及びBで構成される十字形差動センサを用いることにより、回転磁界によって発生する漏洩磁束の直交分解成分を検出することができる。これらの分解成分を合成することにより、きずより発生する漏洩磁束の大きさと方向が明らかにできる。図は走査角度による漏洩磁束ベクトルの直交分解成分及びその合成ベクトルの振幅を示す。合成ベクトルの振幅からきずの評価が可能である。