光電機能グループの主力装置の1つである、2次イオン質量分析計(SIMS)。
材料中の極微量な不純物を高感度に分析するための装置です。SIMSを使うと、固体中に含まれる同位体の存在比率の分析も可能であり、炭素の同位体を使った考古学の年代測定にも使われます。