| 薄膜創製装置 | ||||
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| ７元超高真空同時スパッタ装置 |
６元超高真空基板回転スパッタ装置 | ５元スパッタ装置 | 10元マグネトロンスパッタ装置 | 10元超高真空スパッタ装置 |
| 薄膜創製装置 | ||||
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| 10元超高真空同時スパッタ装置 | 5元マグネトロンスパッタ装置 | リソグラフィー用イオンミリング装置 | ||
| 物性測定装置 | ||||
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| 点接触アンドレーフ反射測定装置 | 試料振動型磁力計 | 高感度試料振動型磁力計 |
示差走査熱量計 | SQUID磁力計 |
| 測定装置 | ||||
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| 高磁界マイクロKerr効果測定装置 | 走査型電子顕微鏡 | ＰＰＭＳ | ＣＩＰＴ | 小型電磁石 |
| 微細加工装置 | ||||
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| 電子ビーム露光装置 | マスクアライナー | マスクアライナー | Arイオンミリング装置 | 磁場中成形油圧プレス装置 |
| 合金作製装置 | ||||
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| 高周波誘導溶解炉 | アーク溶解炉 | 単ロール液体急冷装置 | アーク溶解鋳造装置 | インストロン |
| 粉末プロセス装置 | 熱処理装置 | |||
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| 遊星ボールミル | 真空グローブボックス | 赤外線加熱炉 | 磁場中熱処理炉 | 超小型加圧雰囲気炉 |
| TEM試料作製装置 | ||||
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| 収束イオンビーム装置 Hitachi FIB2000 |
イオンミル Fishione Model 3000 |
精密イオンミル | クロスビーム（FIB-SEM複合装置） | TEM-MILL model1050 |
| 電子顕微鏡 | TEM像記録装置 | |||
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| Titan G2 80-200 | Tecnai20 (共用装置) |
IPリーダー | ＸＲＤ | イオンスライサー |
| ３次元アトムプローブ (3DAP) | ||||
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| レーザ補助広角3DAP | エネルギー補償型3DAP | エネルギー補償型3DAP （放射化試料専用機・東海） |
レーザー補助エネルギー補償型3DAP | レーザ補助3DAP |
