XPS測定時の試料損傷とその評価
鈴木昇 (宇都宮大学大学院工学研究科 情報制御システム科学専攻)
X線光電子分光法(XPS)は測定中の試料損傷が比較的少ないとされているが,多くの有機化合物および特定の官能基は測定中に容易に損傷し,真のスペクトルを得ることができない。本講演では,試料損傷が起こる試料の測定結果,損傷に影響する因子,測定結果の評価法と測定条件の決定法,試料損傷評価のための標準物質の探索などについて紹介する。
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