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研究活動

アトムプローブによる元素分析とその応用

第32回分子電子顕微鏡討論会

2016年9月6日(火)

大久保忠勝(NIMS)、宝野和博(NIMS)

概要

3次元アトムプローブは電界イオン顕微鏡(FIM)を母体として発達した3次元実空間に原子マップを得ることのできる分析手法で、1988年にOxford大学のCerezoらによって、それまでの一次元の深さ方向の情報のみ検出してきた1次元アトムプローブ[ ]に位置敏感型検出器を導入することによって開発された[ ](現在では、「アトムプローブ」は3次元アトムプローブを指す)。当初は、その測定に電圧パルスを使用していたことから、針状試料表面に発生する高電界により試料が頻繁に破壊すること、導電性材料でなければ解析できないことなどの原理的制約のため、金属系材料の解析にしか応用されてこなかったが、この10年間で、FIB/SEMによる試料作製法の進歩や、レーザーアトムプローブの進展[ , ]、紫外光レーザーの利用[ ]によって、金属材料に限らず、半導体、絶縁体と無機材料一般にまで応用範囲が広がってきた。ここではアトムプローブによる元素分析法の原理とその応用を紹介する。


研究活動

元素戦略拠点

触媒・電池元素戦略拠点
触媒・電池元素戦略研究拠点 (京都大学)
東工大元素戦略拠点
東工大元素戦略拠点 (東京工業大学)
構造材料元素戦略研究拠点
構造材料元素戦略研究拠点 (京都大学)
高効率モーター用磁性材料技術研究組合
高効率モーター用 磁性材料技術研究組合